[实用新型]铜铟镓硒镀膜设备的阀门检测装置及检测设备有效
| 申请号： | 201920961338.1 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN210269156U | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 郭万龙 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/003 | 分类号： | G01M13/003 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 王卫忠 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铜铟镓硒 镀膜 设备 阀门 检测 装置 | ||
1.一种铜铟镓硒镀膜设备的阀门检测装置，其特征在于，包括具有封闭腔室的壳体及与所述封闭腔室连通的真空器，所述壳体设置有检测口；
所述封闭腔室内设置有加热组件及用于检测所述封闭腔室内温度及压强传感器组，所述加热组件包括加热件及辐射屏，所述辐射屏为朝向所述检测口一侧具有开口的半包围式结构，所述加热件设置于所述辐射屏内侧。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述加热组件还包括位于所述加热件内侧的热沉件，所述加热件设置有多个且间隔安装于所述热沉件上。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述热沉件与所述辐射屏结构相同。
4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述加热组件还包括结构框架，所述结构框架分别与所述热沉件及辐射屏连接。
5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述结构框架与热沉件之间及所述结构框架与辐射屏之间分别设置有隔热垫。
6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述封闭腔室内设置有支撑体，所述支撑体分别与所述壳体内壁及辐射屏连接。
7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述支撑体至少设置有两个，且位于所述辐射屏的下部。
8.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述支撑体包括玻璃钢支撑柱及设置于所述玻璃钢支撑柱轴向两端的定位销；
所述玻璃钢支撑柱通过两端的所述定位销分别与所述壳体内壁及辐射屏连接。
9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述壳体开设有与所述封闭腔室连通的电缆接口；
所述电缆接口用于所述加热组件与外部电源之间连接走线。
10.一种检测设备，其特征在于，包括权利要求1－9任意一项中的两个所述检测装置，两个所述检测装置的检测口相对设置。
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