[实用新型]一种用于氟化物生产的尾气回收设备

权利要求书

1.一种用于氟化物生产的尾气回收设备，其特征在于：

包括第一罐体(1)、固定于所述第一罐体(1)一侧的第二罐体(2)、尾气输送管(3)、固定于所述第一罐体(1)上的第一回收组件、以及固定于所述第二罐体(2)上的第二回收组件，所述第一罐体(1)以及所述第二罐体(2)内均设有吸收液；

所述第一罐体(1)顶部一侧设有第一进气管(101)，所述第一进气管(101)的一端伸入所述第一罐体(1)内的吸收液内，所述第一罐体(1)顶部另一侧设有第一出气管(102)，所述第一出气管(102)于伸出所述第一罐体(1)的管段外侧壁上设有第一支管(1021)，所述第二罐体(2)顶部一侧设有第二进气管(201)，所述第二进气管(201)的一端伸入所述第二罐体(2)内的吸收液内，所述第二罐体(2)顶部的另一侧设有第二出气管(202)，所述第二进气管(201)于伸出所述第二罐体(2)的管段上设有第二支管(2011)，所述第二进气管(201)另一端与所述第一支管(1021)一端连接导通，所述第二支管(2011)一端以及所述第一进气管(101)另一端分别与所述尾气输送管(3)连接导通，所述尾气输送管(3)上设有泵a，所述第一进气管(101)上设有控制阀h，所述第一出气管(102)于靠近出气口一端上设有控制阀i，所述第一支管(1021)上设有控制阀j，所述第二支管(2011)上设有控制阀k；

所述第一回收组件包括固定于所述第一罐体(1)内且位于所述第一罐体(1)内吸收液上方的第一环形管(61)、以及与所述第一环形管(61)连接导通的第一循环管(62)，所述第一环形管(61)的外环壁与所述第一罐体(1)的内侧壁固定连接，所述第一环形管(61)的内环壁上设有若干绕所述第一环形管(61)圆周均匀分布的第一喷嘴(611)，所述第一喷嘴(611)之间形成供尾气通过的第一喷淋区域，所述第一循环管(62)一端伸入所述第一罐体(1)内且与所述第一环形管(61)连接导通，所述第一循环管(62)另一端伸入所述第一罐体(1)内的吸收液内，所述第一循环管(62)上设有泵b；

所述第二回收组件包括固定于所述第二罐体(2)内且位于所述第二罐体(2)内吸收液上方的第二环形管(71)、以及与所述第二环形管(71)连接导通的第二循环管(72)，所述第二环形管(71)的外环壁与所述第二罐体(2)的内侧壁固定连接，所述第二环形管(71)的内环壁上设有若干绕所述第二环形管(71)圆周均匀分布的第二喷嘴(711)，所述第二喷嘴(711)之间形成供尾气通过的第二喷淋区域，所述第二循环管(72)一端伸入所述第二罐体(2)内且与所述第二环形管(71)连接导通，所述第二循环管(72)另一端伸入所述第二罐体(2)内的吸收液内，所述第二循环管(72)上设有泵c。

2.如权利要求1所述的一种用于氟化物生产的尾气回收设备，其特征在于：

还包括与所述第一进气管(101)一端连接导通且呈方形的第一喷洒头(81)、以及与所述第二进气管(201)一端连接导通且呈方形的第二喷洒头(82)，所述第一喷洒头(81)以及所述第二喷洒头(82)均包括设有内腔的板体(811)、以及固定于所述板体(811)顶部上且与所述板体(811)内腔连通的连接管(812)，所述板体(811)的底部上均匀分布若干排出孔(813)。

3.如权利要求1所述的一种用于氟化物生产的尾气回收设备，其特征在于：

所述第一罐体(1)一外侧壁上设有连通所述第一罐体(1)内的第一进液管(11)，所述第一罐体(1)底部设有连通所述第二罐体(2)内的第一出液管(12)，所述第二罐体(2)的一外侧壁上设有连通所述第二罐体(2)内的第二进液管(21)，所述第二罐体(2)底部设有连通所述第二罐体(2)内的第二出液管(22)。