[实用新型]晶圆平坦化设备

权利要求书

1.晶圆平坦化设备，其特征包括主机架(1)、研磨盘(3)、研磨头旋转机构(4)、研磨头组件(5)、研磨垫打磨机构(6)、研磨液喷淋机构(7)、晶圆装载卸载平台(8)、晶圆传送中转平台(9)和晶圆传送机构(10)，其中主机架(1)中部设主台面(2)，主台面(2)中部设研磨盘(3)，研磨盘(3)底部连接旋转驱动装置，研磨头旋转机构(4)、晶圆装载卸载平台(8)、晶圆传送中转平台(9)、研磨垫打磨机构(6)和研磨液喷淋机构(7)依次环绕研磨盘(3)设置在主台面(2)侧边上，晶圆装载卸载平台(8)和晶圆传送中转平台(9)外侧的主台面(2)侧边上设晶圆传送机构(10)，研磨头旋转机构(4)下端连接研磨头组件(5)。

2.如权利要求1所述的晶圆平坦化设备，其特征是所述的研磨垫打磨机构(6)旋转轨迹经过研磨盘(3)中心，研磨头旋转机构(4)旋转轨迹经过晶圆装载卸载平台(8)和研磨盘(3)中心，晶圆传送机构(10)的运行轨迹为往返晶圆装载卸载平台(8)与晶圆传送中转平台(9)。

3.如权利要求2所述的晶圆平坦化设备，其特征是所述的研磨头旋转机构(4)包括旋转伺服马达(41)、水平移动伺服马达(43)、水平移动驱动丝杆(45)、水平移动导轨(46)、研磨头旋转马达(47)和旋转平台(48)，其中旋转伺服马达(41)连接旋转减速机(42)，旋转减速机(42)驱动连接旋转平台(48)，旋转平台(48)上设水平移动伺服马达(43)，水平移动伺服马达(43)连接水平移动减速机(44)，水平移动减速机(44)驱动连接水平移动驱动丝杆(45)，水平移动驱动丝杆(45)连接研磨头组件(5)和研磨头旋转马达(47)，研磨头组件(5)通过水平移动导轨(46)与旋转平台(48)滑动连接，研磨头旋转马达(47)驱动连接研磨头组件(5)。

4.如权利要求3所述的晶圆平坦化设备，其特征是所述的研磨头旋转机构(4)上设研磨头旋转机构固定装置(11)，研磨头旋转机构固定装置(11)通过电机或气缸驱动销结构连接研磨头旋转机构(4)。

5.如权利要求2所述的晶圆平坦化设备，其特征是所述的晶圆传送机构(10)包括步进电机(101)、第一同步轮(102)、第二同步轮(103)、安装板(106)和传送手臂(108)，其中安装板(106)一端设步进电机(101)，步进电机(101)连接第一同步轮(102)，第二同步轮(103)设置在安装板(106)另一端，第一同步轮(102)和第二同步轮(103)上挂设同步带(107)，同步带(107)上连接有传送手臂(108)。

6.如权利要求5所述的晶圆平坦化设备，其特征是所述的传送手臂(108)上设气缸或电缸(104)，气缸或电缸(104)输出端连接真空吸盘(105)，真空吸盘(105)外接真空产生单元。