[实用新型]高精度竖直轴进给升降机构

权利要求书

1.一种高精度竖直轴进给升降机构，包括底座(1)、设置在底座(1)上的伺服电机(2)、通过伺服电机(2)驱动的丝杠(3)以及设置在丝杠(3)上的静压螺母副(4)，其特征在于，在所述的静压螺母副(4)上设有若干均匀分布的节流孔(5)，所述的节流孔(5)的出口位于静压螺母副(4)与丝杠(3)的齿形啮合的位置，在所述的节流孔(5)内通入高压气体使得齿形啮合的位置形成气膜。

2.根据权利要求1所述的高精度竖直轴进给升降机构，其特征在于，所述的静压螺母副(4)包括与丝杠(3)啮合的螺母(41)以及直线导轨(42)，所述的直线导轨(42)包括固定于底座(1)上的定子(421)以及设置于螺母(41)上的动子。

3.根据权利要求2所述的高精度竖直轴进给升降机构，其特征在于，所述的动子包括固定于螺母(41)上的导向块(422)以及设置于导向块(422)内的导向槽(423)，所述的定子(421)插入导向槽(423)内，所述的节流孔(5)向导向槽(423)内通入高压气体并在导向槽(423)与定子(421)之间形成气膜。

4.根据权利要求3所述的高精度竖直轴进给升降机构，其特征在于，所述的导向块(422)为一环形块，所述的螺母(41)设置在环形块的内壁，所述的导向槽(423)为一环形槽。

5.根据权利要求2所述的高精度竖直轴进给升降机构，其特征在于，在所述的直线导轨(42)的动子上设置若干供气通道(6)，每个所述的供气通道(6)与多个节流孔(5)连通。

6.根据权利要求2所述的高精度竖直轴进给升降机构，其特征在于，所述的节流孔(5)包括设置于直线导轨(42)动子上的供气孔(51)以及设置于螺母(41)上的丝杠节流孔(52)，在所述的直线导轨(42)动子与螺母(41)之间形成封闭的间隙节流通道(53)，所述的间隙节流通道(53)与供气孔(51)、丝杠节流孔(52)连通。

7.根据权利要求6所述的高精度竖直轴进给升降机构，其特征在于，所述的丝杠节流孔(52)为偶数个，其中一半数量的丝杠节流孔(52)连通至螺母(41)齿形的上表面，另一半数量的丝杠节流孔(52)连通至螺母(41)齿形的下表面。

8.根据权利要求1所述的高精度竖直轴进给升降机构，其特征在于，所述的静压螺母副(4)呈圆柱形并在端面开设用于容纳丝杠(3)的容纳腔。

9.根据权利要求1所述的高精度竖直轴进给升降机构，其特征在于，在所述的底座(1)与静压螺母副(4)之间设置角度编码器(7)。

10.根据权利要求1所述的高精度竖直轴进给升降机构，其特征在于，所述的伺服电机(2)与丝杠(3)之间通过柔性联轴器(8)连接。