[实用新型]一种具有检测功能的间歇台

说明书

本实用新型提供一种具有检测功能的间歇台，包括感应盒，所述感应盒前端固定安装固定臂，所述感应盒后端转动安装悬臂，所述悬臂后端延伸至感应盒后侧，且悬臂上端后侧边缘处固定舟座，所述舟座右端面安装有两组凸轮，所述感应盒内部设有空腔，所述悬臂前端下侧边缘处设有触碰端，所述触碰端伸入空腔内，所述空腔内部设有微动开关、弹簧以及弹簧顶块，所述微动开关安装在空腔内部中下侧，且微动开关与外接检测电路相连接，所述弹簧一端固定在触碰端上端，且弹簧另一端固定在弹簧顶块下端，所述弹簧顶块固定在空腔内部前侧，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：实现微动开关隐藏，延长微动开关的使用寿命，冷却方式简单。

技术领域

本实用新型是一种具有检测功能的间歇台，属于气相沉积设备领域。

背景技术

LPCVD设备是在低压高温条件下，通过混合气体的化学反应生产固体反应物并使其沉积在硅片表面形成薄膜的化学气相沉积设备，LPCVD中的间歇台用于临时承载石英舟，通过触碰微动开关检测石英舟是否已经放在凸轮上，但微动开关一般固定在感应盒下部的凸轮处，石英舟从炉体取出后温度较高，微动开关容易受高温影响损坏失灵，占用了较多的空间，并且原有的间歇台采用自然冷却或风扇冷却的方式，存在冷却速度慢或占用体积大等问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种具有检测功能的间歇台，实现微动开关隐藏，延长微动开关的使用寿命，冷却方式简单。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种具有检测功能的间歇台，包括两组承载组件，两组所述承载组件通过氮气冷却管相连接，所述承载组件包括感应盒，所述感应盒前端固定安装固定臂，所述感应盒后端转动安装悬臂，所述悬臂后端延伸至感应盒后侧，且悬臂上端后侧边缘处固定舟座，所述舟座右端面安装有两组凸轮，所述感应盒内部设有空腔，所述悬臂前端下侧边缘处设有触碰端，所述触碰端伸入空腔内，所述空腔内部设有微动开关、弹簧以及弹簧顶块，所述微动开关安装在空腔内部中下侧，且微动开关与外接检测电路相连接，所述弹簧一端固定在触碰端上端，且弹簧另一端固定在弹簧顶块下端，所述弹簧顶块固定在空腔内部前侧。

进一步地，所述感应盒前端开设方形槽，所述方形槽和空腔相通，且方形槽内通过内六角螺栓安装有感应盒盖板。

进一步地，所述感应盒后端开设凹槽，所述悬臂前端安插在凹槽内，且悬臂通过转轴和深沟球轴承与感应盒相连接。

进一步地，所述凸轮通过套管连接轴与舟座相连接，且凸轮前端安装轴端挡板，所述凸轮外表面通过O型圈安装石英套管。

进一步地，所述悬臂上开设有定位孔，所述氮气冷却管一端穿过定位孔并安装有卡套堵头。

进一步地，所述感应盒左端面下侧开设有螺纹孔，所述悬臂左端面下侧开设有限位孔，所述螺纹孔和限位孔中心线相重合，所述螺纹孔内啮合右螺栓，且螺栓穿过螺纹孔并延伸至限位孔内。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种具有检测功能的间歇台，本实用新型利用空腔为微动开关提供隐藏空间，实现微动开关的隐藏设置，不仅方便维修和走线，还节约了一部分空间，降低了微动开关与石英舟距离较近受热失灵的概率，采用悬臂前端的触碰端靠近微动开关的同时挤压弹簧，使得弹簧在触碰端与弹簧顶块之间压缩，从而弹簧的回弹力能够方便触碰端的自动归位，使得触碰端及时与微动开关分开，提高检测准确性，在氮气冷却管内充入氮气实现冷却，冷却方式简单，节约空间。

因本实用新型添加了套管连接轴、轴端挡板以及石英套管，该设计实现对凸轮端部和外表面的保护，有利于延长凸轮的使用寿命，本实用新型实现微动开关隐藏，延长微动开关的使用寿命，冷却方式简单。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：