[实用新型]膜层沉积设备

权利要求书

1.一种膜层沉积设备，其特征在于，包括：

腔室；

晶圆放置位，设置于所述腔室内；

泵口，设置于所述腔室内，位于所述晶圆放置位旁，连通至泵，用于抽取所述腔室内的气体；

泵罩，罩设于所述泵口，且所述泵罩顶面密封，侧面设置有通孔，所述泵通过所述通孔抽取所述腔室内的气体。

2.根据权利要求1所述的膜层沉积设备，其特征在于，所述通孔的数目至少为两个。

3.根据权利要求1所述的膜层沉积设备，其特征在于，所述泵罩呈圆柱形。

4.根据权利要求2所述的膜层沉积设备，其特征在于，所述通孔设置成一排，且所述通孔所在的平面与所述泵罩的顶面平行。

5.根据权利要求2所述的膜层沉积设备，其特征在于，所述通孔设置成两排以上，且所述通孔所在的平面与所述泵罩的顶面平行。

6.根据权利要求2所述的膜层沉积设备，其特征在于，所有通孔均匀分布于所述泵罩的侧面。

7.根据权利要求2所述的膜层沉积设备，其特征在于，所述晶圆放置位的数目为四个。

8.根据权利要求7所述的膜层沉积设备，其特征在于，四个所述晶圆放置位以2×2的排列方法排列于所述腔室内的同一平面上，且各行之间的距离与各列之间的距离相等。

9.根据权利要求8所述的膜层沉积设备，其特征在于，所述泵口的数目为四个，分别两两设置在两列晶圆放置位之间，以及两两设置在两行晶圆放置位之间。

10.根据权利要求9所述的膜层沉积设备，其特征在于，所述四个泵口的连线的外轮廓构成一正方形，且该正方形的对角线，与所述四个晶圆放置位构成的正方形的对角线呈45°度夹角。