[实用新型]一种石墨套轴

说明书

本实用新型公开了一种石墨套轴包括履带架，包括电机轴，所述电机轴的底端外表面固定安装有钢轴，且钢轴远离电机轴的一端固定安装有碳轴，所述钢轴的外表面靠近碳轴的位置设有外螺纹，且钢轴的外表面通过内外螺纹活动安装有石墨轴，所述石墨轴的内部中心处贯穿开设有通孔，所述钢轴的外表面靠近电机轴的位置焊接有连接套筒，且连接套筒的外表面活动安装有连接载环。本实用新型所述的一种石墨套轴，根据电机轴、钢轴与碳轴的热膨胀系数，在石墨轴内表面预留出热膨胀的间隙位置，使整个轴在炉腔内部温度升高后依然能精密啮合，从而使整个轴在生长过程中很好保证了同心度，使得腔体内的坩埚能够均衡受热，方便温度的精准控制。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅制备领域，特别涉及一种石墨套轴。

背景技术

碳化硅晶体结晶工艺就是将高纯碳化硅原料在坩埚中升华，气化，在特定籽晶上重新完成结晶、扩径和退火处理等程序最终得到碳化硅晶体，在碳化硅制备时需要电机带动支撑轴进行旋转；

现有的支撑轴在使用时存在一定的弊端，由于坩埚特殊的内部环境，要求腔体内部除了碳元素和硅元素外不许有其他元素存在，而支撑轴连接电机且轴距太长，在常温条件下，能保证支撑轴的同心度，但炉腔内温度逐步升高后，由于三种材质的热膨胀系数具有的较大区别，同心度会出现严重偏差，导致支撑轴在腔体内部不同心，随之而来的是长晶过程中坩埚受热不均衡，达不到温度的精准控制，在提拉选择系统开启后，此问题更加明显，为此，我们提出一种石墨套轴。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种石墨套轴可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种石墨套轴，包括电机轴，所述电机轴的底端外表面固定安装有钢轴，且钢轴远离电机轴的一端固定安装有碳轴，所述钢轴的外表面靠近碳轴的位置设有外螺纹，且钢轴的外表面通过内外螺纹活动安装有石墨轴，所述石墨轴的内部中心处贯穿开设有通孔，且通孔的内表面靠近顶端位置开设有预留槽，预留槽的内直径大于通孔的内直径，所述钢轴的外表面靠近电机轴的位置焊接有连接套筒，且连接套筒的外表面活动安装有连接载环，所述连接载环的底端外表面靠近四角位置均焊接有插销，且插销的底端外表面焊接有半圆形插头。

优选的，所述连接套筒的外表面等间距焊接有四个滑轨，所述连接载环的内表面等间距开设有四个滑轨槽。

优选的，所述电机轴、钢轴与碳轴的外直径均相等，所述通孔的内直径与钢轴的外直径相等。

优选的，所述石墨轴的顶端外表面靠近通孔的位置等间距开设有四个插槽。

优选的，所述插销的外直径与插槽的内直径相等。

优选的，所述连接套筒的外表面靠近底端位置焊接有挡环。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、根据电机轴、钢轴与碳轴的热膨胀系数，在石墨轴内表面预留出热膨胀的间隙位置，使整个轴在炉腔内部温度升高后依然能精密啮合，从而使整个轴在生长过程中很好保证了同心度，使得腔体内的坩埚能够均衡受热，方便温度的精准控制；

2、通过钢轴与石墨轴之间通过内外螺纹连接，方便对石墨轴进行更换与检测；

3、由于钢轴与石墨轴之间设置有内外螺纹，使得钢轴与石墨轴之间只能进行旋转，再通过钢轴的外表面焊接有连接套筒，并将连接套筒外表面的插销插入到石墨轴中，使得石墨轴不能发生旋转，从而完成对石墨轴的固定，能够自由的调节石墨轴的位置。

附图说明

图1为本实用新型一种石墨套轴的整体截面图；

图2为本实用新型一种石墨套轴中石墨轴的结构图；

图3为本实用新型一种石墨套轴中连接套筒与连接载环的结构图。