[实用新型]纺锤形工件的旋转机构有效
申请号: | 201920971903.2 | 申请日: | 2019-06-25 |
公开(公告)号: | CN210006715U | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 孙洁;胡庆为 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 梁文惠 |
地址: | 102209 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纺锤形 驱动轴 工件座 自转组件 本实用新型 可转动连接 座体 工件夹持机构 工件安装 工件连接 同步转动 旋转机构 自转 制程 | ||
1.一种纺锤形工件的旋转机构,其特征在于,包括:
座体(10);
驱动轴(20),所述驱动轴(20)与所述座体(10)可转动连接;
工件座(30),所述工件座(30)与所述驱动轴(20)连接,并与所述驱动轴(20)同步转动,以带动安装到所述工件座(30)上的纺锤形工件(40)绕所述驱动轴(20)的轴线公转,所述工件座(30)的轴线与所述驱动轴(20)的轴线之间形成有夹角,以使所述纺锤形工件(40)安装到所述工件座(30)上时的轴线与所述驱动轴(20)的轴线之间形成有夹角;
自转组件(50),所述自转组件(50)的至少一部分与所述工件座(30)可转动连接,并与所述纺锤形工件(40)连接,所述自转组件(50)带动所述纺锤形工件(40)绕所述纺锤形工件(40)的轴线自转。
2.根据权利要求1所述的旋转机构,其特征在于,所述自转组件(50)包括:
第一连接件(51),所述第一连接件(51)与所述工件座(30)可转动连接,并能够在所述工件座(30)的带动下绕所述驱动轴(20)的轴线公转,所述纺锤形工件(40)与所述第一连接件(51)连接,所述第一连接件(51)具有第一齿轮(511);
第二连接件(52),所述第二连接件(52)与所述座体(10)连接,所述第二连接件(52)具有第二齿轮(521),所述第二齿轮(521)与所述第一齿轮(511)啮合,当所述工件座(30)和所述第一连接件(51)在所述驱动轴(20)的驱动下绕驱动轴(20)的轴线公转时,所述第一齿轮(511)与所述第二齿轮(521)啮合转动,并带动所述纺锤形工件(40)自转。
3.根据权利要求2所述的旋转机构,其特征在于,所述第一齿轮(511)和/或所述第二齿轮(521)为斜齿轮。
4.根据权利要求2所述的旋转机构,其特征在于,所述第一连接件(51)穿设在所述工件座(30)上,且所述第一连接件(51)具有径向设置的锁紧孔(512),所述旋转机构还包括锁紧件(60),所述锁紧件(60)穿设在所述纺锤形工件(40)和所述锁紧孔(512)内,以将所述纺锤形工件(40)锁紧在所述第一连接件(51)上。
5.根据权利要求2所述的旋转机构,其特征在于,所述自转组件(50)还包括第一轴承(53),所述第一轴承(53)设置在所述第一连接件(51)和所述工件座(30)之间。
6.根据权利要求1所述的旋转机构,其特征在于,所述自转组件(50)驱动所述纺锤形工件(40)自转的自转周期与所述驱动轴(20)驱动所述纺锤形工件(40)公转的公转周期不同。
7.根据权利要求1所述的旋转机构,其特征在于,所述驱动轴(20)具有倾斜端面,所述工件座(30)与所述倾斜端面连接,以使所述工件座(30)的轴线与所述驱动轴(20)的轴线形成夹角。
8.根据权利要求1所述的旋转机构,其特征在于,所述旋转机构还包括第二轴承(70),所述第二轴承(70)设置在所述座体(10)和所述驱动轴(20)之间。
9.根据权利要求1所述的旋转机构,其特征在于,所述驱动轴(20)具有与外部部件连接的连接结构(80),以驱动所述驱动轴(20)转动。
10.根据权利要求9所述的旋转机构,其特征在于,所述连接结构(80)为连接键。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造