[实用新型]一种温度补偿衰减器溅射的夹具

权利要求书

1.一种温度补偿衰减器溅射的夹具，其特征在于：包括第一部件和与第一部件可拆卸连接的第二部件，第一部件上设置有从其顶面沿竖直方向延伸至贯穿第一部件的第一溅射孔和从第一部件侧面向内延伸至与第一溅射孔连通的第一凹槽，第二部件上设置有与第一溅射孔相对的第二溅射孔，第一溅射孔的孔壁设置有沿其长度方向延伸的第一缓冲条，第二溅射孔的孔壁设置有沿其长度方向延伸与第一缓冲条相对的第二缓冲条，第一部件与第二部件连接时，第二部件底面与第一凹槽之间形成第三溅射孔，温度补偿衰减器夹紧在第一缓冲条与第二缓冲条之间。

2.根据权利要求1所述的一种温度补偿衰减器溅射的夹具，其特征在于：所述第一溅射孔的孔壁形成有用于放置第一缓冲条的第一台阶部，所述第二溅射孔的孔壁形成有用于放置第二缓冲条的第二台阶部。

3.根据权利要求2所述的一种温度补偿衰减器溅射的夹具，其特征在于：所述第二部件的底面高于第二缓冲条的底面。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种温度补偿衰减器溅射的夹具，其特征在于：还包括可与第一部件可拆卸连接的第三部件，第三部件形成有可嵌入所述第一凹槽的凸块，第三部件与第一部件连接时，凸块顶面与第一部件顶面相平，凸块与第一溅射孔之间的间隙形成放置温度补偿衰减器的放置孔。

5.根据权利要求4所述的一种温度补偿衰减器溅射的夹具，其特征在于：所述第三部件与第一部件通过螺栓连接，第一部件上设置有从其侧面向内延伸的水平螺孔，所述第三部件上设置有与水平螺孔相对的水平穿孔，螺栓穿过水平穿孔与水平螺孔配合将第三部件锁紧在第一部件上。

6.根据权利要求1或2或3所述的一种温度补偿衰减器溅射的夹具，其特征在于：还包括压紧螺栓，所述第一部件与第一溅射孔前端相对的一面设置有与第一溅射孔连通的压紧螺孔，压紧螺栓与压紧螺孔配合将温度补偿衰减器夹紧在压紧螺栓端部与第一溅射孔后端面之间。

7.根据权利要求1或2或3所述的一种温度补偿衰减器溅射的夹具，其特征在于：所述第一部件与第二部件通过螺栓连接，第一部件上设置有从其顶面沿高度方向向下延伸的竖直螺孔，所述第二部件上设置有与竖直螺孔相对的竖直穿孔，螺栓穿过竖直穿孔与竖直螺孔配合将第二部件锁紧在第一部件上。

8.根据权利要求7所述的一种温度补偿衰减器溅射的夹具，其特征在于：所述竖直螺孔设置有三个，三个竖直螺孔呈三角形分布在第一部件上。

9.根据权利要求1或2或3所述的一种温度补偿衰减器溅射的夹具，其特征在于：所述第一部件的长度与第二部件的长度一致，所述第一部件的宽度与第二部件的宽度一致。

10.根据权利要求1或2或3所述的一种温度补偿衰减器溅射的夹具，其特征在于：所述第一缓条的长度与第一溅射孔的长度一致，所述第二缓冲条的长度与第一缓冲条的长度一致。