[实用新型]一种用于多晶硅生产设备的组合式压力环有效
申请号: | 201920978138.7 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN210168252U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 钱志香 | 申请(专利权)人: | 泰州荣业机械制造有限公司 |
主分类号: | H05B7/02 | 分类号: | H05B7/02;C30B29/06 |
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地址: | 225700 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 生产 设备 组合式 压力 | ||
1.一种用于多晶硅生产设备的组合式压力环,包括环体(1)、压力外壳(2)、水泵(5)和水箱(6),其特征在于:所述环体(1)侧面通过螺丝钉固定安装有三个压力外壳(2),所述压力外壳(2)贯穿环体(1)设置,所述环体(1)内部开设有换热管道(9),所述换热管道(9)用于循环流动冷却用水,所述压力外壳(2)与换热管道(9)贯通设置,所述换热管道(9)进水端贯通连接有进水管(7),所述换热管道(9)出水端贯通连接有出水管(3);所述水箱(6)顶部通过螺丝钉固定安装有水泵(5),所述水泵(5)进水端与水箱(6)贯通连接,所述水泵(5)用于将水箱(6)内部的水泵送至进水管(7)中,所述水箱(6)外壁通过螺丝钉固定安装有PLC(11),所述水泵(5)与PLC(11)信号端电性连接,所述PLC(11)用于控制水泵(5)的接通电源或者关闭电源。
2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产设备的组合式压力环,其特征在于:所述压力外壳(2)内部滑动插接有顶块(10),所述顶块(10)用于顶在电极上。
3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产设备的组合式压力环,其特征在于:所述水箱(6)位于底部加水口处通过螺丝钉固定安装有单向阀门(13),所述单向阀门(13)用于在向水箱(6)内部加水时阻止水箱(6)内部的高压水喷出。
4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产设备的组合式压力环,其特征在于:所述水箱(6)顶部位于水泵(5)一侧通过螺丝钉固定安装有泄压阀(4),所述泄压阀(4)用于在水箱(6)内部压力过高时排出水箱(6)内部的气压。
5.根据权利要求4所述的一种用于多晶硅生产设备的组合式压力环,其特征在于:所述水箱(6)顶部位于水泵(5)另一侧通过螺丝钉固定安装有水位传感器(8),所述水位传感器(8)与PLC(11)信号输入端电性连接,所述水位传感器(8)用于监测水箱(6)内部的水位高度。
6.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅生产设备的组合式压力环,其特征在于:所述PLC(11)底部集成安装有警报器(12),所述警报器(12)用于向用户发出警报。
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