[实用新型]一种半导体制程clamp ring平面度检测治具有效
| 申请号： | 201920978847.5 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN210070841U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 周涛;惠朝先 | 申请（专利权）人： | 四川富乐德科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 641000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 治具主体 螺纹孔 千分表 螺柱 本实用新型 测头 治具 半导体制程 平面度检测 弧形凹口 检测工具 快速检测 内侧边缘 平面度 上端面 中点处 面度 穿过 | ||
1.一种半导体制程clamp ring平面度检测治具，包括治具主体(1)、千分表(2)、基座(4)和螺柱(8)，其特征在于：所述治具主体(1)的上端面开设有凹槽(11)，所述凹槽(11)内侧的治具主体(1)中点处开设有螺纹孔(7)，所述螺纹孔(7)的上方放置有基座(4)，所述基座(4)通过螺柱(8)穿过螺纹孔(7)与治具主体(1)固定连接，所述基座(4)的上方安装有千分表(2)，所述千分表(2)的一端安装有测头(3)，所述凹槽(11)上方的治具主体(1)内侧边缘处开设有弧形凹口(5)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制程clamp ring平面度检测治具，其特征在于：所述千分表(2)的底部安装有滑块(10)，所述基座(4)的上端开设有滑槽(9)，所述千分表(2)通过滑块(10)与基座(4)上的滑槽(9)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体制程clamp ring平面度检测治具，其特征在于：所述治具主体(1)上端面开设的弧形凹口(5)共设有三组，且千分表(2)一端的测头(3)伸入弧形凹口(5)内部。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制程clamp ring平面度检测治具，其特征在于：所述螺柱(8)上端的两侧安装有手柄(6)，所述基座(4)的一端位于螺纹孔(7)上方，另一端朝向弧形凹口(5)，且螺柱(8)穿过基座(4)与治具主体(1)内的螺纹孔(7)固定连接。
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