[实用新型]一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置

权利要求书

1.一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置，其特征在于，包括：

机架，具有一试验腔；

固定机构，设置于机架的试验腔内，包括固定部和夹持机构，固定部底端安装在试验腔上；夹持机构固装于固定部顶端，用于夹紧被测器件；

蠕变测试机构，设置于机架的试验腔内，包括压力测试单元和位移测试单元，其中位移测试单元安装于控制机构的升降端，以测量被测器件接触表面的压力；位移测试单元安装于试验腔顶部，并且位移测试单元的测试端与压力测试单元相连，用以测定位移测试单元的位移；

以及控制机构，包括控制单元和升降驱动单元，其中控制模块、升降驱动单元悬装于机架的试验腔顶部，且升降驱动单元悬于被测器件正上方，用于带动压力测试单元升降；所述压力测试单元的信号传输端、所述位移测试单元的信号传输端分别与所述控制单元的信号传输端口电连接，而所述的升降驱动单元的控制端与所述的控制单元的信号输出端电连接。

2.如权利要求1所述的一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置，其特征在于：所述固定部包括基座和测试台，所述基座底部与机架的试验腔底部固接，基座的顶部安装用于固定夹持机构的测试台。

3.如权利要求2所述的一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置，其特征在于：所述夹持机构为一钳形夹具。

4.如权利要求3所述的一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置，其特征在于：所述夹持机构由一对相对布置的夹体构成，两个所述夹体相对布置并安装在测试台侧面，两夹体的自由端留有用于夹持被测器件的夹持区。

5.如权利要求4所述的一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置，其特征在于：所述夹持机构上增设锁定装置，用于实现夹持机构对被测器件的夹紧。

6.如权利要求5所述的一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置，其特征在于：所述锁定装置包括紧固螺栓和与紧固螺栓配合的螺母，紧固螺栓的螺纹端从设置于夹体的锁定孔穿出后螺接螺母，并通过调整螺母的螺接位置以调整两夹体之间距离。

7.如权利要求5所述的一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置，其特征在于：所述压力测试单元包括测试头、压力传感器、弹簧以及测试推杆，所述测试头与位移测试单元的测试端相连，所述测试头的空腔内设置一弹簧，弹簧的下端与测试头底部相连，上端通过测试推杆与升降驱动单元的驱动端相连，使得测试头随测试推杆运动而纵向升降；压力传感器安装在测试头下端面上，用于与正下方的被测器件接触。