[实用新型]一种便于组合的精密发射源座

说明书

本实用新型公开了一种便于组合的精密发射源座，包括传输头，所述传输头的一端安装有主体，所述主体的上端设置有固定槽，所述固定槽的下端设置有放置槽，所述固定槽的两端均设置有第一螺纹孔，所述主体的一侧安装有梯形滑块，所述主体的另一侧设置有梯形滑槽，所述梯形滑槽的一端安装有固定螺钉，所述主体的内侧安装有限位板，所述限位板的外表面设置有第二螺纹孔，所述主体的下端安装有转轴，所述转轴的外表面安装有轴承。本实用新型通过安装梯形滑块与主体的配合，使得该装置可以通过梯形滑块与梯形滑槽进行组合，通过安装齿轮柱与旋转杆的配合，使得该装置可以通过转动旋转杆进行调节离子溅射的角度。

技术领域

本实用新型涉及发射源座技术领域，具体为一种便于组合的精密发射源座。

背景技术

随着社会经济的快速发展，离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，产生正的气体离子；在阴极和阳极间电压的加速作用下，荷正电的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化；形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜，所以说这种形成干涉膜的方法与湃澎霍夫蒸发的方法相似。由于阴极表面被击出的材料主要是中性原子，如果离子碰撞的能量是低的，即在低的加速电压下，击出的原子数目是相当少的，可忽略不计；在高能离子的撞击下，即加速电压超过五百伏特，实际上每个离子能从靶材表面击出一个原子，从靶材表面溅出原子的速度，主要决定于靶材、加速电压，气压和气氛的性质。

但是，现有的精密发射源座不便于组合，导致效率低，不方便调节离子溅射的角度；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种便于组合的精密发射源座。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于组合的精密发射源座，以解决上述背景技术中提出的精密发射源座不便于组合，导致效率低，不方便调节离子溅射的角度等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于组合的精密发射源座，包括传输头，所述传输头的一端安装有主体，所述主体的上端设置有固定槽，所述固定槽的下端设置有放置槽，所述固定槽的两端均设置有第一螺纹孔，所述主体的一侧安装有梯形滑块，所述主体的另一侧设置有梯形滑槽，所述梯形滑槽的一端安装有固定螺钉，所述主体的内侧安装有限位板，所述限位板的外表面设置有第二螺纹孔，所述主体的下端安装有转轴，所述转轴的外表面安装有轴承，所述轴承的下端安装有齿轮盘，所述齿轮盘的一端安装有齿轮柱，所述齿轮柱的一端安装有旋转杆，所述旋转杆的外表面安装有底座。

优选的，所述传输头的一端与主体的一端完全贴合，所述传输头与主体通过焊接固定。

优选的，所述齿轮柱的一端与旋转杆的一端完全贴合，所述齿轮柱与旋转杆通过焊接固定。

优选的，所述转轴的下端与齿轮盘的上端完全贴合，所述转轴与齿轮盘通过卡槽连接。

优选的，所述固定螺钉的一端与主体的另一端完全贴合，所述固定螺钉与主体通过螺纹连接。

优选的，所述梯形滑块的一侧与主体的一侧完全贴合，所述梯形滑块与主体通过焊接连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过安装传输头与主体的配合，使得该装置在离子溅射镀膜时精准稳定，通过安装齿轮柱与旋转杆的配合，使得该装置可以通过转动旋转杆进行调节离子溅射的角度；

2、本实用新型通过安装转轴与齿轮盘的配合，使得该装置在转动时简单方便，通过安装固定螺钉与主体的配合，使得该装置固定另一个装置时连接牢靠，通过安装梯形滑块与主体的配合，使得该装置可以通过梯形滑块与梯形滑槽进行组合。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型整体的侧视图；

图3为本实用新型整体的右视图；