[实用新型]一种ITO废靶的连续回收装置

说明书

本实用新型涉及ITO废靶材的回收利用设备技术领域，公开了一种ITO废靶的连续回收装置，包括炉体和设于所述炉体外侧壁上的感应线圈，所述炉体的侧壁上连接有向所述炉体进料的第一螺旋进料管，所述第一螺旋进料管上连接有向所述第一螺旋进料管进料的第二螺旋进料管、第三螺旋进料管，所述第二螺旋进料管上通过管道连通有炭仓，所述第三螺旋进料管上通过管道连通有回收靶材仓，所述第二螺旋进料管、第三螺旋进料管的进料速度比值为0.1至0.2。本实用新型的连续回收装置，通过将废靶材和炭粉进行高效的配比、混合，便于对ITO废靶材中的铟、锡进行连续还原反应回收，实现对靶材中铟的高效回收和利用。

技术领域

本实用新型涉及ITO废靶材的回收利用设备技术领域，特别是涉及一种ITO废靶的连续回收装置。

背景技术

金属铟是一种重要的电子工业材料，在半导体、透明导电涂层、电子器件、荧光材料、原子能等方面有着广泛的应用。其中ITO（铟锡氧化物）是金属铟的主要消费领域，占金属铟总消费的七成以上。在ITO粉生产靶材过程中产生的边角料、切屑、废品、溅射镀膜后的废靶材是金属铟的最大来源。此类废靶材中主要含有铟、锡的高价氧化物和少量的低价氧化物，以及微量的杂质。

目前，从ITO废靶材中回收粗铟、锡的方法一般采用还原法对铟、锡回收，然后回收铟等。现有技术中，一般是通过将ITO废靶与炭粉进行混合，然后在高温的炉体中对ITO废靶和炭粉进行混合，实现对ITO废靶中铟和锡的回收。但是现有技术中一般是将ITO废靶与炭粉按照以炉为单位进行不连续的混合和反应，导致对铟、锡的回收不连续，导致对铟、锡的回收速度慢，生产成本高、效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种ITO废靶的连续回收装置，方便对铟、锡进行连续反应和回收，提高生产效率。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种ITO废靶的连续回收装置，包括炉体和设于所述炉体外侧壁上的感应线圈，所述炉体的侧壁上连接有向所述炉体进料的第一螺旋进料管，所述第一螺旋进料管上连接有向所述第一螺旋进料管进料的第二螺旋进料管、第三螺旋进料管，所述第二螺旋进料管上通过管道连通有炭粉仓，所述第三螺旋进料管上通过管道连通有回收靶材仓，所述第二螺旋进料管、第三螺旋进料管的进料速度比值为0.1至0.2。

作为优选方案，所述第一螺旋进料管、第二螺旋进料管和第三螺旋进料管均包括圆筒形的管体、连接在所述管体端部的固定座，所述固定座上转动连接有转轴，所述转轴设于所述管体中间，所述转轴上设有螺旋送料片。

作为优选方案，所述第一螺旋进料管的转轴上通过齿轮传动连接有第一马达。

作为优选方案，所述第二螺旋进料管、第三螺旋进料管的管体的直径比值为1:2，所述第二螺旋进料管、第三螺旋进料管的转轴均通过齿轮传动连接有第二马达，所述第二螺旋进料管、第三螺旋进料管的转轴的转速相同。

作为优选方案，所述第一螺旋进料管倾斜连接在所述炉体的外侧壁上。

作为优选方案，所述第二螺旋进料管、第三螺旋进料管水平连接在所述第一螺旋进料管上。

本实用新型提供一种ITO废靶的连续回收装置，包括炉体和连接在炉体外侧壁上用于对炉体内的混合物加热的感应线圈，炉体侧壁上连接用于对炉体中进料的第一螺旋进料管，第一螺旋进料管上连接用于对第一螺旋进料管进料的第二螺旋进料管、第三螺旋进料管，第二螺旋进料管、第三螺旋进料管通过对第一螺旋进料管的进料比例进行控制，进而控制向第一螺旋进料管进料的待回收靶材与炭粉的比例，实现对待回收靶材与炭粉的按比例快速的混合，待回收靶材与炭粉在第一螺旋进料管中充分混合，进而炉体中使得待回收靶材与炭粉充分混合，通过第二螺旋进料管、第三螺旋进料管对待回收靶材与炭粉连续进料、按比例混合，使得炉体中待回收靶材与炭粉能够连续充分的反应，达到了对ITO废靶的连续回收，提高了对ITO废靶的回收效率和回收速度，提高了生产效率，降低了生产成本。

附图说明