[实用新型]一种研磨机空气主轴装置有效

专利信息
申请号: 201920988837.X 申请日: 2019-06-28
公开(公告)号: CN210414083U 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 胡敬祥;高盼盼;黄郁声 申请(专利权)人: 深圳方达半导体装备有限公司
主分类号: B24B41/04 分类号: B24B41/04;B24B55/00;B24B41/00
代理公司: 深圳市查策知识产权代理事务所(普通合伙) 44527 代理人: 曾令安
地址: 518106 广东省深圳市光明新区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 研磨机 空气 主轴 装置
【权利要求书】:

1.一种研磨机空气主轴装置,包括:安装罩、驱动装置以及微孔石墨轴承组件,其特征在于,所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件固定安装在所述安装罩内,所述驱动装置的转动部与所述微孔石墨轴承组件固定连接,所述驱动装置及所述微孔石墨轴承组件均为上下对称结构,所述微孔石墨轴承组件上设有环形槽,所述环形槽内设置有微孔石墨轴承座,所述微孔石墨轴承座与所述安装罩固定,所述微孔石墨轴承座上设置有通向微孔石墨轴承组件的通气孔,所述微孔石墨轴承组件的右端还连接有砂轮组件,所述砂轮组件的打磨端设置在所述安装罩外。

2.根据权利要求1所述的一种研磨机空气主轴装置,其特征在于,所述微孔石墨轴承组件包括:第一微孔石墨轴承、旋转轴承及第二微孔石墨轴承,所述第一微孔石墨轴承上安装有第一转轴,所述第二微孔石墨轴承上安装有第二转轴,所述第一转轴与所述第二转轴均与所述旋转轴承传动连接,所述旋转轴承直径小于第一微孔石墨轴承和第二微孔石墨轴承,第一微孔石墨轴承侧壁、旋转轴承外壁和第二微孔石墨轴承侧壁形成环形槽,所述微孔石墨轴承座设置在所述环形槽内,所述通气孔的出气口通向旋转轴承外壁,且通气孔的出气口到第一微孔石墨轴承侧壁外壁的距离和到第二微孔石墨轴承侧壁外壁的距离相等。

3.根据权利要求2所述的一种研磨机空气主轴装置,其特征在于,所述砂轮组件上还安装有第三转轴,所述第三转轴的端部与所述第二微孔石墨轴承转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种研磨机空气主轴装置,其特征在于,所述驱动装置包括:安装座、电机定子,电机转子组件以及安装轴套,所述安装座固定在所述安装罩上,所述安装轴套转动连接在安装座上,所述电机转子组件固定安装在所述安装轴套上,所述电机定子固定安装在与电子转子相对设置的安装罩内。

5.根据权利要求1所述的一种研磨机空气主轴装置,其特征在于,所述安装罩的底部还设置有底座,所述安装罩的底部一端通过调节销与所述底座固定连接,所述安装罩的底部另一端通过转轴与所述底座转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种研磨机空气主轴装置,其特征在于,所述通气孔的进气口通过进气接头与气泵连通。

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