[实用新型]位置检测装置、机台及系统

权利要求书

1.一种位置检测装置，所述位置检测装置包括传输机构、第一仓位以及第二仓位，所述传输机构具有输入端和输出端，所述第一仓位位于所述输入端，且所述第一仓位的待检测基板从所述输入端输入至所述传输机构；所述第二仓位位于所述输出端，用于存放所述输出端输出的待检测基板，其特征在于，所述位置检测装置还包括：

光电传感器组，所述光电传感器组安装于所述传输机构的输出端处，所述光电传感器组用于检测所述待检测基板的位置，其中，所述光电传感器组包括至少一对沿所述传输机构的对角设置的光电传感器。

2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述位置检测装置还包括用于控制所述传输机构停止运动的第一传感器，所述第一传感器安装于所述传输机构的输出端处。

3.根据权利要求2所述的位置检测装置，其特征在于，所述位置检测装置还包括位于待检测基板两侧的两个导正机构，两个所述导正机构安装于所述传输机构的输出端处。

4.根据权利要求3所述的位置检测装置，其特征在于，所述位置检测装置还包括用于控制所述传输机构减速的第二传感器，所述第二传感器安装于所述传输机构上，且所述第二传感器位于所述输入端以及所述导正机构之间。

5.根据权利要求4所述的位置检测装置，其特征在于，所述位置检测装置还包括抬升机构，所述抬升机构安装于所述传输机构的输出端处，且所述抬升机构位于两个所述导正机构之间。

6.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述位置检测装置还包括第一搬移机构，所述第一搬移机构设于所述第一仓位和所述传输机构的输入端之间，所述第一搬移机构将所述第一仓位的基板搬移至所述输入端。

7.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述位置检测装置还包括第二搬移机构，所述第二搬移机构设于所述传输机构的输出端和所述第二仓位之间，所述第二搬移机构将传输至所述输出端的基板搬移到所述第二仓位内。

8.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述第一仓位中设有多个第一卡匣，所述第二仓位中设有多个第二卡匣，所述第一卡匣的数量与所述第二卡匣的数量相等。

9.一种位置检测机台，其特征在于，所述位置检测机台包括机架以及如权利要求1-8任一项所述的位置检测装置。

10.一种位置检测系统，其特征在于，所述位置检测系统包括控制器以及如权利要求9所述的位置检测机台。