[实用新型]用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统

说明书

本文描述的实施方式涉及一种用于蒸发源材料(150)的蒸发装置(100)，所述蒸发装置包括蒸发坩埚(110)和支撑布置(120)，所述支撑布置(120)具有多个材料托盘(125)，所述多个材料托盘(125)用于在所述多个材料托盘(125)上布置源材料。所述支撑布置(120)可去除地放置在所述蒸发坩埚(110)的内部体积(115)中。本文描述的实施方式还涉及一种蒸发源(200)和一种具有蒸发装置(100)的沉积系统(300)。

技术领域

本公开的实施方式涉及一种用于蒸发源材料的蒸发装置，一种具有蒸发装置的蒸发源，以及一种用于在基板上沉积蒸发的源材料的沉积系统。本文描述的实施方式还涉及一种用于蒸发待沉积到基板上的源材料的方法。具体地，本文描述的实施方式涉及一种用于蒸发待在沉积系统中沉积到基板上的源材料 (例如有机源材料)的蒸发装置。

背景技术

用于在基板上沉积材料层的技术包括例如热蒸发、物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。经涂覆的基板可用于各种应用和不同的技术领域。例如，经涂覆的基板可用于有机发光二极管(OLED)器件领域。OLED可用于制造电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持设备和类似物以显示信息。OLED 是一种特殊类型的发光二极管，其中发光层包括某些有机化合物的薄膜。OLED 显示器可能的颜色、亮度和视角范围大于传统LCD显示器，因为OLED像素直接发光并且不需要背光。因此，OLED显示器的能耗远低于传统LCD显示器的能耗。此外，OLED可以制造到柔性基板上的事实导致了进一步的应用。

OLED设备，诸如OLED显示器，可以包括位于被沉积在基板上的两个电极之间的一个或多个有机材料层。例如，OLED显示器可以包括以形成具有可单独激励的像素的矩阵显示面板的方式沉积在基板上的层。OLED通常放置在两个玻璃面板之间，并且玻璃面板的边缘被密封以将OLED封装在其中。

OLED器件的制造中遇到了许多挑战。OLED显示器包括几种通常在真空系统中蒸发的材料的堆叠。有机材料通常以由掩模限定的预定图案沉积。对于 OLED制造，共沉积或共蒸发两种或更多种材料(例如，主材料和掺杂剂)以导致混合/掺杂层是有益的。必须考虑用于蒸发非常敏感的有机材料的几种工艺条件。

在处理期间，基板可支撑在载体上，所述载体被配置为保持基板与掩模对准。通过掩模将来自蒸发源的蒸汽朝向基板引导，以在基板上产生图案化的膜。可以经由一个或多个掩模在基板上沉积一种或多种材料，以在基板上产生小像素，例如用于提供全色显示。

可以在包括蒸发坩埚的蒸发装置中蒸发源材料。可以加热蒸发坩埚的内部体积以蒸发源材料。源材料可以以固体或液体形式布置在蒸发坩埚内，例如作为粉末或作为颗粒。难以长时间确保源材料的预定蒸发速率。此外，典型的源材料对温度非常敏感，使得如果源材料长时间暴露于高温，则存在蒸发坩埚中材料分解的风险。

鉴于上述，提供一种确保蒸发材料的高品质沉积的改进蒸发装置将为有利的，特别是对于OLED器件的制造。具体地，应当在确保长时间的预定蒸发速率的同时降低材料分解的风险。

实用新型内容

鉴于上述，提供了一种用于蒸发源材料的蒸发装置，一种蒸发源，一种用于在基板上沉积蒸发的源材料的沉积系统，以及一种用于蒸发源材料的方法。

根据一个方面，提供了一种用于蒸发源材料的蒸发装置。所述蒸发装置包括蒸发坩埚和支撑布置，所述支撑布置具有多个材料托盘，所述多个材料托盘用于在所述多个材料托盘上布置源材料。所述支撑布置可去除地放置在蒸发坩埚的内部体积中。

在另一实施方式中，所述多个材料托盘可一个在另一个上面地布置在所述支撑布置中。

在又一实施方式中，所述支撑布置可从所述蒸发坩埚的所述内部体积取出，以便在所述多个材料托盘上再填充源材料。

在又一实施方式中，所述多个材料托盘可包括四个或更多个材料托盘。