[实用新型]一种多层结构的抛光垫

说明书

本实用新型公布了一种多层结构的抛光垫，从上至下依次设有亲水聚酰胺层、热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，所述亲水聚酰胺层表面含有若干凸起单元，每个凸起单元包括矩形阵列形成的小凸起以及围绕该小凸起设置的大凸起，每个凸起单元之间距离大于所述每个凸起单元内小凸起之间的距离，所述大凸起的高度和所述小凸起的高度一致；所述小凸起之间以及凸起单元之间构成相互连通的网格状凹槽；所述大凸起和/或所述小凸起上表面设有若干储液微孔；本实用新型能够有效延长使用寿命，而且能够避免大料屑在抛光垫上残留影响抛光质量。

技术领域

本实用新型涉及抛光垫领域，特别是一种多层结构的抛光垫。

背景技术

抛光垫也有人称它为抛光皮、抛光布、抛光片等，表面结构分为平面型、网格型和螺旋线型等，是化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。它的主要作用如下：(1)把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域；(2)将抛光后便化学反应充分进行的反应物、碎屑等顺利排出，达到去除效果；(3)维持抛光垫表面的抛光液薄膜，以便化学反应充分进行；(4)保持抛光过程的平稳、表面不变形，以便获得较好的晶片表面形貌；因此，设计一种更好地发挥以上作用的抛光垫势在必行。

实用新型内容

为了解决上述存在的问题，本实用新型公开了一种多层结构的抛光垫，从上至下依次设有亲水聚酰胺层、热塑性聚氨酯层和聚氯乙烯层，所述亲水聚酰胺层表面含有若干凸起单元，每个凸起单元包括矩形阵列形成的小凸起以及围绕该小凸起设置的大凸起，每个凸起单元之间距离大于所述每个凸起单元内小凸起之间的距离，所述大凸起的高度和所述小凸起的高度一致；所述小凸起之间以及凸起单元之间构成相互连通的网格状凹槽；所述大凸起和/或所述小凸起上表面设有若干储液微孔，所述网格状凹槽内设有填充层。

优选地，所述填充层的高度小于所述网格状凹槽的深度，具体地，所述填充层的材质采用无机材料；或所述填充层的材质采用微溶于碱液或者酸液的有机材料。

优选地，所述网格状凹槽的底部设置成U型面或V型面。

优选地，所述亲水聚酰胺层与热塑性聚氨酯层之间以及所述热塑性聚氨酯层与聚氯乙烯层之间设有连接筋。

优选地，所述亲水聚酰胺层内还设有若干腔体，有助于抛光垫回弹。

优选地，所述抛光垫的厚度低于10mm。

本实用新型的有益效果：(1)通过设置设置大凸起和小凸起，同时设置凸起单元之间距离大于所述每个凸起单元内小凸起之间的距离，由于在抛光作业过程中，抛光产生的料屑大小不一，可以在不同尺寸的网格凹槽内流动排出，提高抛光质量。

(2)将网格状凹槽内设有填充层，因当抛光液在该抛光垫上流动时，凹槽内的填充层能够在一定程度上使抛光液在凹槽内的流动受到一定的限制作用；随着抛光的时间增加，抛光垫上的大凸起、小凸起的上表面将会被磨损，网格状凹槽的槽深度将会发生变化，即槽深变浅甚至被磨平，由于填充层的存在，一方面可减缓凹槽磨损，增加抛光垫的使用时间；另一方面，可将网格状凹槽内的填充层去除，由于填充层的材质关系，其能够微溶于抛光液中，从而使抛光液在凹槽深度得以改善，从而使得流动能力得以改善，确保抛光液能够均匀地分散到抛光布本体的表面，保证抛光液的顺利流通，由以上可知，在凹槽内设置填充层，增加了抛光垫的使用寿命，实用性较强。(3)通过在大凸起和/或所述小凸起上表面设有若干储液微孔，能够在抛光过程中，储液微孔内能够储存微量的抛光液，对抛光件的抛光效果更好；(4)通过在所述亲水聚酰胺层与热塑性聚氨酯层之间以及所述热塑层与聚氯乙烯层之间设有连接筋，能够进一步提高层层之间粘结力，延长其寿命。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型的俯视图；

图3是本实用新型大凸起表面的结构示意图；