[实用新型]氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿

权利要求书

1.氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，包括氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)、液位计(2)、第一连接臂(3)和第二连接臂(4)，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)呈杯型，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)与第一连接臂(3)相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)与第二连接臂(4)相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)设有空腔(10)，所述液位计(2)设有液位腔(20)，所述空腔(10)的底部与第一连接臂(3)相连通，所述第一连接臂(3)与第二连接臂(4)相连接并相连通，所述第二连接臂(4)与液位腔(20)的底部相连通。

2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)包括杯体(11)、杯口(12)和杯底(13)，所述杯体(11)的顶部与杯口(12)相连接，所述杯体(11)的底部与杯底(13)相连接，所述杯底(13)的内径为57～59mm，杯底(13)的外径为59～61mm，所述杯口(12)的外径为62～64mm，所述杯口(12)的内径为60～62mm。

3.根据权利要求2所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，所述杯底(13)和杯体(11)的连接处设有圆角(14)，所述圆角(14)的半径为5～7mm。

4.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，所述液位计(2)包括壳体(21)和浮球(22)，所述液位腔(20)设于壳体(21)内，所述浮球(22)位于液位腔(20)内，所述壳体(21)与第二连接臂(4)相连接。

5.根据权利要求4所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，所述壳体(21)上设有刻度。

6.根据权利要求4所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，所述液位计(2)包括安装块(23)，所述安装块(23)固定安装在壳体(21)上。

7.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，所述第一连接臂(3)设有第一法兰(31)，所述第二连接臂(4)设有第二法兰(41)，所述第一法兰(31)和第二法兰(41)相连接。

8.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，包括第三连接臂(5)和第四连接臂(6)，所述第三连接臂(5)和第四连接臂(6)相连接并相连通，所述第三连接臂(5)与氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)相连接，所述第四连接臂(6)与液位计(2)相连接，所述第三连接臂(5)与空腔(10)相连通，所述第四连接臂(6)与液位腔(20)的相连通。

9.根据权利要求8所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，所述第三连接臂(5)设有第三法兰(51)，所述第四连接臂(6)设有第四法兰(61)，所述第三法兰(51)和第四法兰(61)相连接。