[实用新型]一种修整头

权利要求书

1.一种修整头，其特征在于，包括：修整组件和用于承载修整组件的基座组件，所述修整组件可相对于基座组件旋转并竖直移动以修整抛光垫；并且，所述修整头中设置有传感器以监测修整组件相对于基座组件的竖直位置。

2.如权利要求1所述的修整头，其特征在于，所述传感器为非接触式位置传感器。

3.如权利要求1所述的修整头，其特征在于，所述修整组件的连接轴的上部具有定位环，并且所述传感器为固定连接至所述基座组件的磁性开关，所述磁性开关位于所述定位环圆周外侧以测量其竖直方向的移动。

4.如权利要求1所述的修整头，其特征在于，所述传感器的数量至少两个，其设置于基座组件竖直方向的不同位置。

5.如权利要求3所述的修整头，其特征在于，所述基座组件包括同心地套设于所述连接轴的外侧的承载盘，所述承载盘上具有至少两个用于设置所述传感器的凹槽。

6.如权利要求5所述的修整头，其特征在于，所述凹槽沿承载盘的中轴线均匀对称分布。

7.如权利要求1所述的修整头，其特征在于，所述基座组件包括基座、上旋转套及下旋转套，所述上旋转套与下旋转套连接为一体并同心设置于基座内，所述传感器设置在上旋转套与下旋转套之间的竖向空间内。

8.如权利要求7所述的修整头，其特征在于，所述上旋转套及下旋转套为磁导率低的金属材料。

9.如权利要求7所述的修整头，其特征在于，所述上旋转套及下旋转套为复合材料。

10.如权利要求9所述的修整头，其特征在于，所述上旋转套及下旋转套为被玻璃填充的聚苯硫醚(PPS)或被玻璃填充的聚醚醚酮(PEEK)。