[实用新型]插片机用水系统

说明书

本实用新型涉及一种插片机用水系统，其包括缓存水箱；供水通道，可为所述缓存水箱供水；第一开关，设于所述供水通道上；侧喷通道；水泵，用以将所述缓存水箱中的水泵入所述侧喷通道；以及水位监测装置，用以监测所述缓存水箱内的水位。上述插片机用水系统，可以根据水位监测装置的监测结果判断缓存水箱内的水量是否充足，若不充足，则打开第一开关，以为缓存水箱供水；若充足，则关闭第一开关，以避免缓存水箱出现水溢流现象，进而避免水源浪费。

技术领域

本实用新型涉及插片机领域，特别是涉及一种插片机用水系统。

背景技术

插片机用以在硅片清洗前将硅片装入清洗花篮中。在此过程中，一般通过侧喷水柱对准硅片的两侧面进行喷水，以使得硅片在水的作用下与相邻的硅片分离，进而避免在插片过程中出现双片或连片的现象。

传统地，为了避免自来水水源供水不足，而设置一个缓存水箱。即将自来水水源注入缓存水箱内，再通过水泵将水箱内的水泵入侧喷通道内。然而，传统的插片机在运行过程中，容易存在缓存水箱内的水溢流的现象，造成水源的浪费。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种避免因水溢流而造成水源浪费的插片机用水系统。

一种插片机用水系统，包括：

缓存水箱；

供水通道，可为所述缓存水箱供水；

第一开关，设于所述供水通道上；

侧喷通道；

水泵，用以将所述缓存水箱中的水泵入所述侧喷通道；以及

水位监测装置，用以监测所述缓存水箱内的水位。

上述插片机用水系统，可以根据水位监测装置的监测结果判断缓存水箱内的水量是否充足，若不充足，则打开第一开关，以为缓存水箱供水；若充足，则关闭第一开关，以避免缓存水箱出现水溢流现象，进而避免水源浪费。

在其中一个实施例中，所述水位监测装置包括低水位监测装置和高水位监测装置。

在其中一个实施例中，所述第一开关包括第一电磁阀；

所述低水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位低于低水位预设值时，发送信号给所述第一电磁阀，以使所述第一电磁阀打开；

所述高水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位高于高水位预设值时，发送信号给所述第一电磁阀，以使所述第一电磁阀闭合。

在其中一个实施例中，所述水位监测装置与所述第一电磁阀之间通过中间继电器电连接。

在其中一个实施例中，所述低水位监测装置为浮球液位计，且/或所述高水位监测装置为浮球液位计。

在其中一个实施例中，还包括第一警报装置和第二警报装置；

所述低水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位低于低水位预设值时，发送信号给所述第一警报装置，以使所述第一警报装置发出警报；

所述高水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位高于高水位预设值时，发送信号给所述第二警报装置，以使所述第二警报装置发出警报。

在其中一个实施例中，所述缓存水箱的容量大于150升。

在其中一个实施例中，还包括：

插片水槽，所述侧喷通道的侧喷口位于所述插片水槽内；

排污通道，用以排出所述插片水槽内的污水；

水净化装置，用以净化所述插片水槽内的污水；