[实用新型]一种双桥补偿压力传感器

权利要求书

1.一种双桥补偿压力传感器，其特征在于：包括第一压力传感器和第二压力传感器，

所述第一压力传感器包括有源电桥，所述有源电桥包括相互电连接的电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4，所述电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4组成第一惠斯通电桥，

所述第二压力传感器包括参考电桥，所述参考电桥包括相互电连接的电阻R5、电阻R6、电阻R7、电阻R8，所述电阻R5、电阻R6、电阻R7、电阻R8组成第二惠斯通电桥，第一惠斯通电桥与第二惠斯通电桥相互之间电连接，且均与连接端点（10）的一端电连接，连接端点（10）的另一端接地，

第一惠斯通电桥、第二惠斯通电桥的一端均与供电电压端（9）电连接，通过供电电压对第一压力传感器和第二压力传感器施加压力，测量第一惠斯通电桥上的第一端点（11）与第二端点（12）之间的电压差，及第二惠斯通电桥上的第三端点（13）与第四端点（14）之间的电压差实现对压力的测量。

2.根据权利要求1所述的一种双桥补偿压力传感器，其特征在于：所述有源电桥上的第二端点（12）为“+”端，参考电桥上的第三端点（13）为“-”端，第二端点（12）与第三端点（13）相连组成输出+out端（15），所述有源电桥上的第一端点（11）为“-”端，参考电桥上的第四端点（14）为“+”端，第一端点（11）与第四端点（14）组成输出-out端（16）。

3.根据权利要求2所述的一种双桥补偿压力传感器，其特征在于：电阻R1和电阻R2串联组成有源电桥的左半支，有源电桥的“-”端位于电阻R1和R2之间，电阻R3和R4串联组成有源电桥的右半支，有源电桥的“+”端位于电阻R3和R4之间，有源电桥的左半支和右半支通过并联实现有源电桥的连接。

4.根据权利要求2所述的一种双桥补偿压力传感器，其特征在于：电阻R5和R6串联组成参考电桥的左半支，参考电桥的“-”端位于电阻R5和R6之间，电阻R7和R8串联组成参考电桥的右半支，参考电桥的“+”端位于电阻R7和R8之间，参考电桥的左半支和右半支通过并联实现参考电桥的连接。

5.根据权利要求1所述的一种双桥补偿压力传感器，其特征在于：对第一压力传感器顶部施加测量压力P1，对第一压力传感器底部施加参考大气压P2，参考大气压P2为标准大气压。

6.根据权利要求1所述的一种双桥补偿压力传感器，其特征在于：对第二压力传感器的顶部和底部均施加测量压力P1。

7.根据权利要求1所述的一种双桥补偿压力传感器，其特征在于：所述第一惠斯通电桥设置于第一压力传感器的第一芯片上，所述第一芯片（17）为经过微电子工艺处理过的硅片，第一芯片（17）的下方键合有一第一玻璃键（18），第一玻璃键（18）为Pyrex7740玻璃，第一芯片（17）与Pyrex7740玻璃通过阳极键合。

8.根据权利要求7所述的一种双桥补偿压力传感器，其特征在于：所述第二惠斯通电桥设置于第二压力传感器的第二芯片（19）上，所述第二芯片为经过微电子工艺处理过的硅片，第二芯片（19）的下方键合有一第二玻璃键（20），第二玻璃键（20）为Pyrex7740玻璃，第二芯片（19）与Pyrex7740玻璃通过阳极键合。

9.根据权利要求8所述的一种双桥补偿压力传感器，其特征在于：所述第一芯片（17）和第二芯片（19）的尺寸在2～3mm之间。