[实用新型]一种防尘式芯片工作台

权利要求书

1.一种防尘式芯片工作台,包括容纳框(1)、网格框(2)、圆柱筒(3)、端盖(4)、底板(5)、薄膜(6)、管(7)和真空泵(8)，其特征在于：圆柱筒(3)内有通孔(3-1)和螺纹端(3-2)，通孔(3-1)位于圆柱筒(3)内部，端盖(4)与螺纹端(3-2)螺纹连接；

网格框(2)固定于容纳框(1)内，网格框(2)的下面与底板(5)固定连接，底板(5)固定在容纳框(1)底部；圆柱筒(3)穿过容纳框(1)的侧棱而与容纳框(1)固定连接；端盖(4)与圆柱筒(3)活动连接；薄膜(6)包覆于网格框(2)的外表面而将网格框(2)包裹于内部；管(7)一端与圆柱筒(3)相连接，管(7)另一端与真空泵(8)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种防尘式芯片工作台，其特征在于：所述网格框(2)材质为塑料。