[实用新型]一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器有效
| 申请号： | 201921011418.7 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210487145U | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 高峰;马志强 | 申请（专利权）人： | 南京沃天科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08;G01L19/06;G01L1/16;G01L1/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211162 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 弹性 膜片 单晶硅 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，包括单压基座(1)、中心膜片(2)、芯体部件(3)、隔离膜片(4)，其特征在于，所述中心膜片(2)为弹性膜片(5)，所述弹性膜片(5)通过焊接方式实现与芯体部件(3)的连接，所述弹性膜片(5)包括合金钢膜片。
2.根据权利要求1所述的具有弹性膜片的单晶硅压力传感器，其特征在于，所述隔离膜片(4)、弹性膜片(5)通过焊接方式实现与单压基座(1)的连接。
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