[实用新型]一种石英舟用周转推车

权利要求书

1.一种石英舟用周转推车，其特征在于，包括：

车架；

石英舟放置台，所述石英舟放置台设于所述车架上；

定位装置(21)，设于所述石英舟放置台上，能够对石英舟(5)进行定位；

散热装置(22)，设于所述石英舟放置台上，能够对所述石英舟(5)进行散热。

2.根据权利要求1所述的石英舟用周转推车，其特征在于，所述车架上设有至少两层所述石英舟放置台，每一层所述石英舟放置台上设有多个石英舟放置位，每一所述石英舟放置位上均设有所述定位装置(21)和所述散热装置(22)。

3.根据权利要求2所述的石英舟用周转推车，其特征在于，所述定位装置(21)为设置于所述石英舟放置位上的定位套筒，所述石英舟(5)的脚部能够伸入所述定位套筒中。

4.根据权利要求2所述的石英舟用周转推车，其特征在于，所述散热装置(22)为设于所述石英舟放置位上的散热风扇。

5.根据权利要求1所述的石英舟用周转推车，其特征在于，还包括感应装置(3)，所述感应装置(3)能够检测所述石英舟(5)的卡槽内是否有硅片。

6.根据权利要求5所述的石英舟用周转推车，其特征在于，所述感应装置(3)包括固定架(31)和设于所述固定架(31)上的传感器(32)，所述固定架(31)设于所述石英舟放置台上，所述传感器(32)能够检测所述石英舟(5)内的卡槽内是否有硅片。

7.根据权利要求6所述的石英舟用周转推车，其特征在于，所述固定架(31)为门形固定架，包括两根与所述石英舟放置台连接的竖梁(311)和设于两根所述竖梁(311)之间的横梁(312)，所述横梁(312)上设有多个与所述石英舟(5)的卡槽一一对应的所述传感器(32)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的石英舟用周转推车，其特征在于，所述石英舟用周转推车上还设有用于对所述石英舟放置台进行防尘的防尘罩。

9.根据权利要求1-7任一项所述的石英舟用周转推车，其特征在于，所述石英舟放置台包括与所述车架固定连接的底板(23)和与所述底板(23)垂直且向上延伸的护板(24)。

10.根据权利要求9所述的石英舟用周转推车，其特征在于，所述护板(24)的内侧壁上设有缓冲板。