[实用新型]一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置有效
| 申请号： | 201921015793.9 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN209894137U | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 阮旸;胡华威;史家琰 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空间光调制器 彩色相机 显微透镜 晶圆 本实用新型 晶圆表面 送料平台 伺服电机控制 计算机控制 不锈钢板 采集图像 测量装置 快速获取 面形测量 面形数据 输出图像 丝杆导轨 运动平台 遮光作用 不透明 哈特曼 圆面形 计算机 光路 会聚 照射 测量 运送 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置，包括外包机箱、送料平台、空间光调制器、显微透镜、彩色相机和计算机，其中：
所述的外包机箱由漆上黑漆的不锈钢板组成，其两侧开有大小相同的长方形门洞；
所述的送料平台由伺服电机控制的丝杆导轨运动平台组成；
所述空间光调制器在外包机箱内，对光波相位进行调制并输出正弦调相条纹图像信号；
所述的显微透镜设置在空间光调制器和被测晶圆之间，放大由空间光调制器输出的条纹图像，以提高单位面积内的晶圆面形测量精度；
所述的彩色相机设置在外包机箱内，感光元件为COMS光敏阵列；
所述的计算机设置在外包机箱外，用于控制空间光调制器对光波相位进行调制并输出正弦调相条纹图像信号，同时控制彩色相机采集经晶圆表面反射后的条纹图像、送料平台的运动，以及处理彩色相机拍摄得到的图片。
2.根据权利要求1所述的一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置，其特征在于：彩色相机的镜头顶部装有一相机小孔，用于过滤杂光。
3.根据权利要求1所述的一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置，其特征在于：送料平台可以从外包机箱两侧开口门洞处进出，用于运送被测晶圆。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量大学，未经中国计量大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921015793.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种影像自动检测装置
- 下一篇：一种工程监理水平度激光矫正装置
