[实用新型]一种拼接式靶材装置有效
| 申请号： | 201921015854.1 | 申请日： | 2019-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN210886198U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 常洪兴;徐胜 | 申请（专利权）人： | 杰莱特（苏州）精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 拼接 式靶材 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种拼接式靶材装置，包括外围靶材（1）、中心靶材（2）和水冷背板（3），其特征在于，所述中心靶材（2）通过中心靶材固定螺钉（5）固定在水冷背板（3）的中心，所述中心靶材（2）的四周与外围靶材（1）紧密贴合在一起，所述外围靶材（1）通过外围靶材固定螺钉（4）固定在水冷背板（3）上。
2.根据权利要求1所述的一种拼接式靶材装置，其特征在于，所述中心靶材（2）呈矩形、正方形或圆形。
3.根据权利要求1或2所述的一种拼接式靶材装置，其特征在于，所述水冷背板（3）由黄铜材料制备而成。
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