[实用新型]一种太阳能电池多层减反射渐变膜有效
| 申请号： | 201921020566.5 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN210778613U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 姜泽光;张欣;林纲正 | 申请（专利权）人： | 天津爱旭太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/18;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/50 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 侯莉 |
| 地址： | 300400 天津市北辰区天津北辰*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 多层 反射 渐变 | ||
【权利要求书】：
1.一种太阳能电池多层减反射渐变膜，其特征在于：它包括由下至上依次设置的第一氮化硅薄膜、第二氮化硅薄膜、第一氮氧化硅薄膜、第二氮氧化硅薄膜和氧化硅薄膜，且各薄膜的折射率由下至上逐层降低；所述第一氮化硅薄膜的膜厚为10-20nm，折射率为2.2-2.3；所述第二氮化硅薄膜的膜厚为30-50nm，折射率为2.03-2.09；所述第一氮氧化硅薄膜的膜厚为3-15nm，折射率为1.8-2.0；所述第二氮氧化硅薄膜的膜厚为3-15nm，折射率为大于或等于1.6且小于1.8。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池多层减反射渐变膜，其特征在于：所述氧化硅薄膜的膜厚为3-15nm，折射率为1.3-1.5。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池多层减反射渐变膜，其特征在于：所述太阳能电池多层减反射渐变膜的厚度为66-78nm，折射率为2.07-2.09。
4.根据权利要求1～3任一项所述的太阳能电池多层减反射渐变膜，其特征在于：所述太阳能电池多层减反射渐变膜是单晶电池、PERC电池或多晶电池的减反射膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
