[实用新型]一种晶圆共用背检平台

说明书

本实用新型提供一种晶圆共用背检平台。所述晶圆共用背检平台底座；显微镜，所述显微镜设置于所述底座的上方；共用圆盘，所述共用圆盘设置于所述底座的上方，所述共用圆盘的一侧开设有辅助槽，并且共用圆盘的顶部设置有防护板，所述共用圆盘、所述辅助槽和所述防护板之间形成一个共用平台，共用平台适用于8吋和12吋晶圆的检测，所述辅助槽内部与所述底座的侧面之间相互连通。本实用新型提供的晶圆共用背检平台具有采用共用平台，共用治具进行背面检查时，不需要在更换单独平台，和操作显微镜机台，提升公司设备使用效率，共用治具进行背面检查时，不需要在更换单独平台，减少平台在显微镜机台操作平台上摩擦，有效的保护平台的平整度，粗糙度。

技术领域

本实用新型涉及晶圆测量辅助设备领域，尤其涉及一种晶圆共用背检平台。

背景技术

在显微镜机台上量测晶圆背面数据时，区分8吋和12吋含铁框晶圆，不同尺寸量测时，需更换不同尺寸量测平台。

在现有技术中，现有的量测平台有不同种类，8吋和12吋背检平台各一只，对应相同晶圆的背检，更换治具时，容易划伤显微镜操作平台，拉长检测晶圆的时间。

因此，有必要提供一种晶圆共用背检平台解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种晶圆共用背检平台，解决了检验晶圆时需要更换相对应背检平台才可以量测，拉长作业时间和造成显微镜操作平台划伤的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的晶圆共用背检平台包括：底座；显微镜，所述显微镜设置于所述底座的上方；共用圆盘，所述共用圆盘设置于所述底座的上方，所述共用圆盘的一侧开设有辅助槽，并且共用圆盘的顶部设置有防护板。

优选的，所述共用圆盘、所述辅助槽和所述防护板之间形成一个共用平台，共用平台适用于8吋和12吋晶圆的检测。

优选的，所述辅助槽内部与所述底座的侧面之间相互连通，并且辅助槽的尺寸与真空笔的尺寸相适配。

优选的，所述防护板采用防静电泡棉材质制作，并且防护板上设置有与辅助槽相适配的开口。

优选的，所述底座的内部开设有滑槽，并且滑槽的下方位于所述底座的内部开设有定位槽。

优选的，所述滑槽的表面为梯形的结构，并且滑槽内壁的顶部直径大于所述滑槽内壁的底部的直径。

优选的，所述底座上开设有安装槽，所述安装槽的内部与所述定位槽的内部相互连通，所述定位槽的尺寸与所述共用圆盘的尺寸相适配。

与相关技术相比较，本实用新型提供的晶圆共用背检平台具有如下有益效果：

本实用新型提供一种晶圆共用背检平台，采用共用平台，共用治具进行背面检查时，不需要在更换单独平台，和操作显微镜机台，提升公司设备使用效率，共用治具进行背面检查时，不需要在更换单独平台，减少平台在显微镜机台操作平台上摩擦，有效的保护平台的平整度，粗糙度。

附图说明

图1为本实用新型提供的晶圆共用背检平台的第一实施例的结构示意图；

图2为图1所示的共用平台的俯视图；

图3为本实用新型提供的晶圆共用背检平台的第二实施例的结构示意图；

图4为图3所示的底座内部的结构示意图。

图中标号：1、底座，2、显微镜，3、共用圆盘，31、辅助槽，32、防护板，4、滑槽，41、定位槽，5、安装槽。

具体实施方式

第一实施例：

下面结合附图和实施方式对本实用新型的第一实施例作进一步说明。