[实用新型]一种折弯钼舟

说明书

本实用新型公开了一种折弯钼舟，包括：舟状本体，所述舟状本体上设有用于与外部连通的正极板与负极板；所述舟状本体包括：底板与设置在底板的边缘的至少三块挡板，所述底板与所有所述挡板共同构成用于容纳镀膜原料的容纳区域；所述底板上开设有若干第一缝隙，所述第一缝隙的宽度为2～4mm，所述第一缝隙使得舟状本体形成S型的电子通道，所述正极板与负极板通过该电子通道导通。本实用新型能够应用于尺寸较小的镀膜原料，增加电阻值提高了热能功率，镀膜原料受热更加均匀，尺寸较小的镀膜原料不易倾倒或从缝隙中掉落。

技术领域

本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其涉及一种折弯钼舟。

背景技术

真空蒸镀是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜原料使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。

电阻加热源是在真空蒸镀中普遍使用的蒸发源，蒸发源通常用高熔点、低蒸汽压、化学和机械稳定性好的金属、氧化物或氮化物，如钨、钼、钽、高纯石墨、三氧化二铝陶瓷、氮化硼陶瓷等材料制备而成。蒸发源可根据镀膜原料的性质与浸润性加以选用。

在薄膜制备过程中，现有的钼舟作为电阻蒸发源是由钼板折弯而成，其钼舟的舟舱较浅而且钼舟的缝隙较大，发热功率小，导致原料块在加热过程中受热不均匀，与钼舟接触的原料块受热，而搭在缝隙处的原料块不受热，从而导致原料块容易倾倒接触不良，镀膜厚度不均匀影响镀膜质量，浪费镀膜原料。为了规避镀膜原料倾倒接触不良的问题，若采用尺寸较小的原料块，由于缝隙宽度较大则原料块容易从缝隙处掉落。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种折弯钼舟，能够应用于尺寸较小的镀膜原料，增加电阻值提高了热能功率，镀膜原料受热更加均匀，尺寸较小的镀膜原料不易倾倒或从缝隙中掉落。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种折弯钼舟，包括：舟状本体，所述舟状本体上设有用于与外部连通的正极板与负极板；所述舟状本体包括：底板与设置在底板的边缘的至少三块挡板，所述底板与所有所述挡板共同构成用于容纳镀膜原料的容纳区域；所述底板上开设有若干第一缝隙，所述第一缝隙的宽度为2～4mm，所述第一缝隙使得舟状本体形成S型的电子通道，所述正极板与负极板通过该电子通道导通。

上述结构中，通过开设第一缝隙使得舟状本体形成S型的电子通道，增加了舟状本体的电阻值，从而提高了折弯钼舟的热能功率，而且相对于现有技术缩小了第一缝隙的宽度，使得镀膜原料受热更加均匀，尺寸较小的镀膜原料也不易倾倒或从缝隙中掉落。

优选地，所述挡板包括4块，分别为前挡板、后挡板、第一侧挡板与第二侧挡板，所述底板、前挡板、后挡板、第一侧挡板与第二侧挡板共同构成所述容纳区域；所述第一缝隙的第一端延伸至前挡板上，所述第一缝隙的第二端延伸至后挡板上。

通过设置第一缝隙，能够尽量增加电子通道的长度，从而尽量提高舟状本体的电阻值，从而进一步提高折弯钼舟的热能功率。

优选地，相邻所述第一缝隙的第一端将前挡板割开或者与前挡板远离底板的一端具有一定距离，间隔的所述第一缝隙的第一端处于相同的状态；相邻所述第一缝隙的第二端将后挡板割开或者与后挡板远离底板的一端具有一定距离，间隔的所述第一缝隙的第二端处于相同的状态。

优选地，若干所述第一缝隙相互平行设置且相邻所述第一缝隙之间的距离相同。

上述结构中，由于第一缝隙相互平行设置且相距相等，能够进一步使得位于容纳区域内的镀膜原料受热更加均匀。

优选地，所述第一侧挡板上设有若干第二缝隙，若干所述第二缝隙相互平相设置，所述第二缝隙的第一端延伸至底板上并与所述第一缝隙连成一体，所述第二缝隙的第二端与第一侧挡板远离底板的一端具有一定距离；所述第二缝隙的宽度与第一缝隙的宽度相等。