[实用新型]多任务清洗装置有效

专利信息
申请号: 201921026467.8 申请日: 2019-07-03
公开(公告)号: CN210647481U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 王永昌;陈章晏;丁洋;崔亚东;颜超仁 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;F26B21/00
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 任务 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种多任务清洗装置,其特征在于,包括:

壳体,所述壳体表面设置有液体输入端口、气体输入端口以及至少两个输出端口;

设置于所述壳体内的气体总管道和液体总管道,所述液体总管道的一端连接所述液体输入端口,另一端与多个第一支管道的输入端连接,所述气体总管道的一端连接所述气体输入端口,另一端与多个第二支管道的输入端连接,每个所述第一支管道和每个所述第二支管道上均设置有开关阀;

每个所述第一支管道的输出端和每个所述第二支管道的输出端分别连接一个三通管件的两个输入端,每个所述三通管件的输出端通过一个输出管道连接一个所述输出端口。

2.如权利要求1所述的多任务清洗装置,其特征在于,所述多任务清洗装置还包括控制器,所述控制器通过电磁阀连接所述开关阀,所述开关阀为空气阀。

3.如权利要求2所述的多任务清洗装置,其特征在于,所述控制器通过继电器与所述电磁阀连接。

4.如权利要求3所述的多任务清洗装置,其特征在于,所述控制器包括显示面板,所述显示面板显示每个所述第一支管道和/或每个所述第二支管道的通断状态。

5.如权利要求1所述的多任务清洗装置,其特征在于,每个所述第一支管道在输入端与开关阀之间均设置有液体压力计。

6.如权利要求1所述的多任务清洗装置,其特征在于,每个所述输出管道上设置有开关调节阀。

7.如权利要求1所述的多任务清洗装置,其特征在于,所述液体输入端口通过位于所述壳体外的液体输入管道连接一液源,所述气体输入端口通过位于所述壳体外的气体输入管道连接一气源,在所述液体输入管道上从所述液源至所述液体输入端口依次设置有液体输入调节阀和液体压力计,在所述气体输入管道上从所述气源至所述气体输入端口依次设置有设置有气体输入调节阀、气体压力计和过滤器。

8.如权利要求7所述的多任务清洗装置,其特征在于,所述多任务清洗装置还包括位于所述壳体外的至少两个清洗管,每个所述清洗管与一个所述输出端口连接。

9.如权利要求8所述的多任务清洗装置,其特征在于,所述液体输入管道与所述液体输入端口之间的连接方式为插接,所述气体输入管道与所述气体输入端口之间的连接方式为插接,每个所述清洗管和所述输出端口之间的连接方式为插接。

10.如权利要求7所述的多任务清洗装置,其特征在于,所述液源为去离子水,所述气源为氮气。

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