[实用新型]单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置

权利要求书

1.一种单晶硅生长炉一炉多次掺杂装置，包括掺杂筒；其特征在于，还包括掺杂机构和石英筒；

所述掺杂机构包括外筒，外筒内壁为N边形，其中N-1条边每条边上设有一轴座，每个轴座上设有心轴；掺杂筒底部筒壁上设有一偏心孔，心轴装设于偏心孔内；

外筒内顶部设有封盖，转轴手柄通过轴承与密封圈与封盖相连，封盖上设有若干止动孔，止动孔的位置与掺杂筒相对应；转轴手柄下端穿过封盖与挡板固连，上端与定位止动销相连，止动销底端插入其中一个定位孔内，挡板上设有缺口；

所述石英筒通过连接法兰与外筒下端相连。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述石英筒外部套设有波纹管。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述掺杂机构中各个部件间设有密封装置。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述连接法兰与外筒间还设有连接段。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述连接段上下两个密封面存在角度。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括提升机构，提升机构包括下底板与背板；背板上沿竖向设有直线运动单元，直线运动单元的滑块上设有提升架；下底板上设有圆孔；石英筒下端穿过下底板的圆孔，连接法兰下端面外缘与提升架相连。