[实用新型]一种转塔式固晶机

权利要求书

1.一种转塔式固晶机，其特征在于：包括校正补偿系统、取晶系统、点胶系统、固晶系统、转塔系统和检测系统；

其中，所述校正补偿系统，用于微调芯片在装载所述芯片的晶圆盘上的位置；

所述取晶系统，用于拾取晶圆盘上的芯片；

所述点胶系统，用于对取晶后芯片所放置的引线框架进行点胶操作；

所述固晶系统，用于对点胶后的所述引线框架，将芯片在其上面进行固晶操作；

所述转塔系统，进行芯片位置的转移，依次经过取晶系统、点胶系统和固晶系统；

所述检测系统，进行芯片取晶前和固晶前位置参数补偿校正。

2.根据权利要求1所述的一种转塔式固晶机，其特征在于：所述校正补偿系统包括晶圆工作台装置(2)和自校正顶针装置(3)，其中；

所述晶圆工作台装置(2)包括X轴运动模组(21)、Y轴运动模组(22)和晶圆环(23)，所述X轴运动模组(21)带动所述Y轴运动模组(22)在X轴方向上进行位移，Y轴运动模组(22)带动所述晶圆环(23)在Y轴方向上进行位移，晶圆环(23)用于装载晶圆盘，晶圆环(23)上设有用于调节晶圆环(23)松紧程度的晶圆环快拆装置(24)；

所述自校正顶针装置(3)包括X轴自校正模组(31)、Y轴自校正模组(32)、Z轴自校正模组(33)和顶针运动模组(34)，所述X轴自校正模组(31)带动所述Y轴自校正模组(32)在X轴方向上进行位移，Y轴自校正模组(32)带动所述Z轴自校正模组(33)在Y轴方向上进行位移，Z轴自校正模组(33)带动所述顶针运动模组(34)在Z轴方向上进行位移，顶针运动模组(34)包括第七驱动电机(341)、第七偏心轮传动机构(342)、顶针(343)和顶针防撞装置(344)，所述第七驱动电机(341)的输出轴传动连接所述第七偏心轮传动机构(342)，第七偏心轮传动机构(342)带动所述顶针(343)在Z轴方向上做往复运动，所述顶针(343)处设有所述顶针防撞装置(344)。

3.根据权利要求2所述的一种转塔式固晶机，其特征在于：所述顶针(343)包括顶针帽(3431)、顶针帽安装座(3432)、顶针导杆(3433)、紧固螺帽(3434)、顶针夹爪(3435)和针头(3436)，所述顶针帽(3431)与所述顶针帽安装座(3432) 相固定，所述顶针导杆(3433)在顶针帽(3431)内上下滑动，顶针导杆(3433)的顶端通过所述紧固螺帽(3434)和所述顶针夹爪(3435)固定有所述针头(3436)，顶针帽(3431)处设有供针头(3436)伸出或者回缩的孔眼；

所述顶针防撞装置(344)包括防撞外壳(3441)、外导电环(3442)、内导电环(3443)、绝缘环(3444)和真空管接头(3445)，在顶针帽(3431)与顶针帽安装座(3432)的外围设有所述防撞外壳(3441)，顶针帽安装座(3432)与防撞外壳(3441)的上下两端均具有一定间隙，在顶针帽安装座(3432)的外壁贴覆有所述内导电环(3443).内导电环(3443)位于顶针帽安装座(3432)与防撞外壳(3441)上端部分的间隙处，防撞外壳(3441)的内壁贴覆有所述外导电环(3442)，顶针帽安装座(3432)与防撞外壳(3441)的下端部分通过所述绝缘环(3444)进行连接，且还在顶针帽安装座(3432)的外壁设置了弹簧柱(3446)，所述真空管接头(3445)贯穿进入防撞外壳(3441)内。

4.根据权利要求1所述的一种转塔式固晶机，其特征在于：所述取晶系统包括第一电机下压装置(4)，其中；

所述第一电机下压装置(4)包括第一音圈电机(41)和与所述第一音圈电机(41)输出轴固定连接的第一推杆压头(42)。