[实用新型]氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置

权利要求书

1.氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置，其特征在于：包括回收存储箱(1)，所述回收存储箱(1)的一侧外表面固定安装有进入接头(2)，所述回收存储箱(1)的另一侧外表面固定安装有排出接头(6)，所述回收存储箱(1)的上表面固定安装有存储箱顶盖(9)，所述存储箱顶盖(9)的上表面一侧位置固定安装有驱动马达(11)，所述存储箱顶盖(9)的上表另一侧位置活动安装有密封门(12)，所述回收存储箱(1)的内表面转动安装有转动杆(16)，所述转动杆(16)的外表面设置有搅拌扇叶(17)，所述回收存储箱(1)的内表面一侧位置固定安装有隔离网安装架(14)，所述隔离网安装架(14)的上表面固定安装有杂物隔离网(15)。

2.根据权利要求1所述的氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置，其特征在于：所述进入接头(2)的外表面固定安装有输入管道(3)，所述输入管道(3)远离进入接头(2)的一端固定安装有抽取泵底座(4)，所述抽取泵底座(4)的上表面固定安装有废酸抽取泵(5)。

3.根据权利要求1所述的氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置，其特征在于：所述进入接头(2)和排出接头(6)均贯穿至回收存储箱(1)的内表面，所述排出接头(6)的上表面活动安装有控流阀(7)。

4.根据权利要求1所述的氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置，其特征在于：所述回收存储箱(1)的前表面固定安装有爬梯(8)。

5.根据权利要求1所述的氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置，其特征在于：所述存储箱顶盖(9)的上表面位于驱动马达(11)的外侧位置固定安装有马达保护栏(10)，所述转动杆(16)贯穿回收存储箱(1)和存储箱顶盖(9)与驱动马达(11)连接，所述搅拌扇叶(17)通过焊接与转动杆(16)固定连接，所述转动杆(16)能够带动搅拌扇叶(17)旋转活动。

6.根据权利要求1所述的氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置，其特征在于：所述密封门(12)的上表面固定安装有门把手(13)，所述密封门(12)能够在存储箱顶盖(9)的上方一百八十度旋转活动。

7.根据权利要求1所述的氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置，其特征在于：所述隔离网安装架(14)呈斜角摆放安装，所述杂物隔离网(15)的上表面与回收存储箱(1)固定连接。