[实用新型]平面度检测装置和激光切割设备

权利要求书

1.一种平面度检测装置，用于检测加工平台的平面度，其特征在于，包括：基台、桥架、X轴运动单元、Y轴运动单元、位移传感器及控制系统，所述桥架设于所述基台上，所述X轴运动单元设于所述基台，用于带动所述加工平台沿X方向移动，所述Y轴运动单元设于所述桥架，用于带动所述位移传感器沿Y方向移动，所述控制系统用于控制所述X轴运动单元和所述Y轴运动单元分别移动设定位移，以使所述位移传感器能够依次测试出所述加工平台上的多个测量点到所述位移传感器的距离，且所述控制系统能够对测试数据进行处理以得到所述加工平台的平面度。

2.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述控制系统包括工业控制计算机、运动控制器、X轴驱动器及Y轴驱动器，所述运动控制器与所述工业控制计算机通讯连接，所述工业控制计算机能够通过所述运动控制器向所述X轴驱动器和所述Y轴驱动器发出控制指令，以使所述X轴驱动器驱动所述X轴运动单元移动第一设定位移、所述Y轴驱动器驱动所述Y轴运动单元移动第二设定位移。

3.根据权利要求2所述的平面度检测装置，其特征在于，所述控制系统还包括位移传感器控制单元，所述位移传感器控制单元与所述工业控制计算机通讯连接，并用于将所述位移传感器的测量数据传输至所述工业控制计算机，所述工业控制计算机能够对所述测量数据进行存储和分析。

4.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述平面度检测装置还包括Z轴运动单元，所述Z轴运动单元设于所述Y轴运动单元，用于带动所述位移传感器沿Z方向移动。

5.根据权利要求4所述的平面度检测装置，其特征在于，所述Z轴运动单元包括伺服电机、丝杆及安装座，所述伺服电机的输出端连接于所述丝杆，所述安装座与所述丝杆螺纹连接，所述位移传感器设于所述安装座上，所述伺服电机包括保持制动器。

6.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述X轴运动单元包括两个直线电机和两个导轨，两个所述导轨平行设于所述基台，所述直线电机包括定子和动子，所述定子设于所述基台，所述动子固定于所述加工平台，所述动子在所述定子产生的磁场作用下能够带动所述加工平台沿所述导轨的轴向进行往复直线运动。

7.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述Y轴运动单元包括驱动件、滑座及弹性缓冲件，所述驱动件用于驱动所述滑座运动，所述滑座上设有凸柱，所述弹性缓冲件能够抵持于所述凸柱。

8.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述位移传感器包括激光位移传感器或超声波位移传感器。

9.根据权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于，所述位移传感器包括信号发射器和信号接收器，所述信号发射器发射出的信号被所述加工平台反射后进入所述信号接收器。

10.一种激光切割设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的平面度检测装置。