[实用新型]高效率挥发有机废气处理系统

说明书

一种高效率挥发有机废气处理系统，主要为通过一焚烧炉、一第一吸附转轮及一第二吸附转轮的组合设计，且通过该第二吸附转轮的第二脱附浓缩气体管路连接到该第一吸附转轮的冷却区的第一冷却气进气管路，以便能将该第二脱附浓缩气体管路内的脱附浓缩气体用来供给该第一吸附转轮的冷却区使用，使能增加挥发有机废气的处理效能。

技术领域

本实用新型涉及一种高效率挥发有机废气处理系统，尤其涉及一种使增加有机废气处理效能，且节省能耗，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理。

背景技术

公知的挥发有机废气处理系统的沸石转轮与一焚烧炉及一次热交换器与一二次热交换器与一二次热交换器所组成，并应用如半导体产业，且通常整体处理效率约在90％～95％。

而当环保观念愈来愈受重视，目前的产业在新设厂时会遇到总量管制，以现有的排放量为基准，要求不要再增加排放量，所以过去的处理效率面临需要增加，以减少挥发性有机废气排放量，这成为一个选项。

因为近年的环保意识提升，增加处理效率，也会增加能源消耗，例如燃料费，对安装设备的厂商来说是一笔不小的开销及负担。

因此，本发明人有鉴于上述缺失，期望能够提出一种具有较高的处理效率且节能的高效率挥发有机废气处理系统，由于处理效率提高使排气的VOC挥发有气气体总量减少，又具节能工效令使用者可轻易操作组装，于是潜心研究思考、设计组装制作，以提供使用者便利性，为本发明人所欲研究创造的创造动机。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于提供一种高效率挥发有机废气处理系统，主要通过一焚烧炉、一第一吸附转轮及一第二吸附转轮的组合设计，且通过该第二吸附转轮的第二脱附浓缩气体管路连接到该第一吸附转轮的冷却区的第一冷却气进气管路，以便能将该第二脱附浓缩气体管路内的脱附浓缩气体用来供给该第一吸附转轮的冷却区使用，使能增加挥发有机废气的处理效能，进而增加整体的实用性。

本实用新型的另一目的，在于提供一种高效率挥发有机废气处理系统，通过该焚烧炉为蓄热式焚烧炉(RTO)时，该蓄热式焚烧炉(RTO)设有入口及出口，该入口与该第一脱附浓缩气体管路连接，该出口则连接至一烟囱，使该第一吸附转轮的脱附区所产生的脱附浓缩气体能由该第一脱附浓缩气体管路来输送到该蓄热式焚烧炉(RTO)内，让该蓄热式焚烧炉(RTO)来进行高温裂解，以能减少挥发性有机废气化合物，进而增加整体的使用性。