[实用新型]一种集成电路中的缺陷监测用结构

权利要求书

1.一种集成电路中的缺陷监测用结构，包括工作座（1）、限位结构（2）、升降结构（3）、支板（4）和检测头（6），其特征在于：所述工作座（1）顶端的一侧固定有支板（4），且支板（4）的外侧壁安装有控制面板（401），所述支板（4）一侧的工作座（1）顶端固定有升降结构（3），且升降结构（3）的底端安装有检测头（6），所述检测头（6）顶端的拐角位置处皆固定有拆装结构（5），所述检测头（6）下方的工作座（1）顶端安装有限位结构（2）。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路中的缺陷监测用结构，其特征在于：所述限位结构（2）的内部依次设置有压板（204）、第一弹簧（206）、按扣（201）、按板（203）、凹槽（205）以及手拉板（202），所述压板（204）底端的一侧皆安装有等间距的第一弹簧（206），且第一弹簧（206）的底端皆与工作座（1）的顶端固定连接，所述第一弹簧（206）一侧的工作座（1）顶端皆安装有按扣（201）。

3.根据权利要求2所述的一种集成电路中的缺陷监测用结构，其特征在于：所述压板（204）顶端的一侧皆安装有按板（203），且按板（203）的底端皆设置有凹槽（205），并且凹槽（205）与按扣（201）相互配合，所述按板（203）远离压板（204）一侧的顶端皆固定有手拉板（202）。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路中的缺陷监测用结构，其特征在于：所述升降结构（3）的内部依次设置有丝杆（308）、给进螺母（305）、横板（306）、限位槽（303）、限位杆（304）、伺服电机（302）、转轴（307）以及皮带轮（301），所述丝杆（308）的表面套装有给进螺母（305），且给进螺母（305）一侧的外壁上设置有横板（306），并且横板（306）的一侧与给进螺母（305）的外壁固定连接，所述横板（306）两侧的支板（4）表面皆设置有限位槽（303），且限位槽（303）的内部皆设置有限位杆（304），并且限位杆（304）远离限位槽（303）的一端固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路中的缺陷监测用结构，其特征在于：所述丝杆（308）一侧的工作座（1）顶端固定有伺服电机（302），且伺服电机（302）的输出端通过联轴器安装有转轴（307），并且转轴（307）通过皮带轮（301）与丝杆（308）相连接。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路中的缺陷监测用结构，其特征在于：所述拆装结构（5）的内部依次设置有槽体（503）、推动板（505）、第二弹簧（504）、卡接槽（506）、滑动槽（508）、卡接块（507）、连杆（502）以及卡块（501），所述槽体（503）的内部皆设置有推动板（505），且推动板（505）的一侧皆通过第二弹簧（504）与槽体（503）的侧壁固定连接，所述槽体（503）一侧的升降结构（3）底端皆设置有卡接槽（506），且卡接槽（506）的上方设置有滑动槽（508），所述卡接槽（506）的内部设置有卡接块（507），且卡接块（507）的顶端通过块体与滑动槽（508）相连接，卡接块（507）通过连杆（502）与推动板（505）相连接，所述卡接块（507）的内部设置有卡块（501），且卡块（501）的底端延伸至卡接槽（506）的外部并与检测头（6）的顶端固定连接。