[实用新型]一种组合式籽晶托盘

说明书

本实用新型属于金刚石合成领域，尤其是一种组合式籽晶托盘，针对现有的装置在更换不同厚度的籽晶托盘，先将籽晶和隔热丝从一个籽晶托盘内取出，然后重新放置在较厚的籽晶托盘内，但是其操作较为繁琐的问题，现提出如下方案，其包括籽晶托盘，所述籽晶托盘的上方设有加厚托盘，籽晶托盘和加厚托盘的顶侧均设有穿孔，两个穿孔的位置相对应，本实用新型中，在籽晶生长过程中，当需要增加籽晶托盘的厚度时，无需更换籽晶托盘，直接将加厚托盘上的连接槽对准连接柱移动即可完成固定组合，增加了籽晶托盘的厚度，拉动T型卡杆使其移出卡槽，取出加厚托盘即可拆卸，操作简单，满足了人们的使用需求。

技术领域

本实用新型涉及金刚石合成技术领域，尤其涉及一种组合式籽晶托盘。

背景技术

金刚石集众多优异性质于一体，具有极高的硬度、热导率，宽的透射光谱带、宽带隙及高电子空穴迁移率等优点，可以广泛应用于刀具、涂层、光学窗口及声学传感器、半导体和电子器件等领域。

公开号为CN105525344B公开了一种用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用，所述籽晶托盘置于微波等离子体化学气相沉积装置的水冷台上，其提到需要将籽晶置于不同厚度的籽晶托盘中生长，保持高功率密度，现有的多是直接更换不同厚度的籽晶托盘，先将籽晶和隔热丝从一个籽晶托盘内取出，然后重新放置在较厚的籽晶托盘内，但是其操作较为繁琐，存在改进的空间。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在装置在更换不同厚度的籽晶托盘，先将籽晶和隔热丝从一个籽晶托盘内取出，然后重新放置在较厚的籽晶托盘内，但是其操作较为繁琐的缺点，而提出的一种组合式籽晶托盘。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种组合式籽晶托盘，包括籽晶托盘，所述籽晶托盘的上方设有加厚托盘，籽晶托盘和加厚托盘的顶侧均设有穿孔，两个穿孔的位置相对应，籽晶托盘的顶侧固定安装有两个连接柱，加厚托盘的底侧开设有两个连接槽，两个连接柱的顶端分别延伸至两个连接槽内，所述连接槽的两侧内壁上均开设有凹槽，两个凹槽的顶侧内壁上均固定安装有L型柱，将加厚托盘上的连接槽对准连接柱移动。

优选的，两个L型柱相互靠近的一侧均开设有压孔，两个压孔内均滑动安装有压柱，压柱的两端均延伸至压孔外，两个压柱相互靠近的一端均固定安装有直角适配块，两个直角适配块相互靠近的一侧均延伸至连接槽内并均与连接柱相适配，两个压柱相互远离的一端均固定安装有第一弹簧的一端，两个第一弹簧相互远离的一端分别固定安装在两个凹槽相互远离的一侧内壁上，两个压柱的底侧均固定安装有齿条，连接柱移动挤压两个直角适配块使其相互远离，两个直角适配块相互远离分别带动两个压柱相互远离，两个第一弹簧均发生弹性形变，两个压柱移动分别带动两个齿条相互远离。

优选的，两个凹槽的一侧内壁上均转动安装有位于压柱下方的齿轮，两个齿轮分别与两个齿条相啮合，两个齿轮的一侧均固定安装有转柱，两个转柱上均转动安装有转杆，两个转杆相互靠近的一侧均转动安装有推杆，两个L型柱相互靠近的一侧均开设有推孔，两个推杆相互靠近的一端分别贯穿两个推孔并均固定安装有推板，两个齿条相互远离分别带动两个齿轮转动，两个齿轮转动分别带动两个转柱转动，两个转柱转动分别带动两个转杆转动，两个转杆转动分别带动两个推杆相互靠近，两个推杆相互靠近分别带动两个推板相互靠近。