[实用新型]用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置有效
申请号: | 201921039263.8 | 申请日: | 2019-07-05 |
公开(公告)号: | CN210215539U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 王越民;王焘骏 | 申请(专利权)人: | 佛山王氏航空光学科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54 |
代理公司: | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人: | 郭官厚 |
地址: | 528225 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 镀膜 炉内晶振片 自动 切换 装置 | ||
用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置,本实用新型通过采用旋转电机使旋转盘于工作机台上旋转,实现对各组备用晶振片的选择,通过采用升降电机配合升降机构,使其实现机械手组件的上下轴向移动,通过采用机械手开合电机连接机械手组件,实现机械手组件的开合,从而实现该切换装置实现晶振片在真空状态下的自动切换,使镀膜机炉体内的工作环境不受影响,保证工作质量与提高工作效率,而旋转盘于工作机台上通过步进电机旋转,使得达到定位精度高、无抖动,晶振片重复位置几乎无偏差的效果,本实用新型使用方便,不需要暂停机台工作并调整环境状态,使镀膜机的镀膜工作时间大大减少,保证了工作质量,提高了工作效率。
技术领域
本实用新型涉及镀膜机设备,更具体地说,尤其涉及一种用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置。
背景技术
在真空镀膜机中,镀膜机炉体内环境为真空状态,因此当镀膜机工作时需要保证其密封性能,在镀膜过程中需要用到晶振片,该晶振片在长时间使用后精准度会有所下降,晶振片在镀膜机内工作时需定期更换,但是现有的晶振片均为手动切换,该镀膜作业中的更换晶振片的过程极为繁琐,而且需要暂停机台工作并调整环境状态,使镀膜机的镀膜工作时间大大延长,导致其工作质量受到影响,而工作效率也不高,而且不利于镀膜机高产作业的发展前景,为此,我们提出一种维持镀膜机连续工作的晶振片自动更换装置。
实用新型内容
本实用新型针对上述缺点对现有技术进行改进,提供一种用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置,技术方案如下:
用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置,包括有工作机台,该工作机台呈中空结构,其内部下方连接有工作位若干个,所述工作机台内部的顶壁分别对应工作位开设有切换槽,内部中心固定连接有旋转电机,该旋转电机的电机轴穿过工作机台并固定穿设有旋转盘,所述旋转盘设置于工作机台的上方,该旋转盘的上方设置有切换结构,所述切换机构包括有机械手开合电机和升降电机,该升降电机通过第一电机座固定连接于旋转盘的上方,所述升降电机的电机轴穿设有齿轮,该齿轮通过与齿条啮合使其连接有升降机构,所述升降机构设置于旋转盘的上方,其包括有升降座,该升降座的一端固定连接机械手开合电机,另一端下方连接有机械手组件,所述机械手开合电机的电机轴连接机械手组件,所述旋转盘对应机械手组件开设有活动槽。
所述工作位设置有七组,其均匀围绕固定连接工作机台的内部底壁,其中一工作位设置有工作感应片,其余工作位设置有备用镜片。
所述升降电机的电机轴连接有减速装置,并通过减速装置连接齿轮。
所述工作机台的外周壁均匀围绕连接有滑轮若干组,该滑轮的上方与旋转盘低端面相接触。
所述升降座的一侧设置有滑动轮,另一侧通过滑块连接有导轨,该滑动轮通过轮座固定连接于旋转盘的上方,且该滑动轮的一侧活动嵌设于升降座,所述滑块连接齿条,所述导轨固定连接于旋转盘的上方。
所述旋转电机和机械手开合电机均为步进电机。
所述升降电机为直流减速电机。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:本实用新型通过采用旋转电机使旋转盘于工作机台上旋转,实现对各组备用晶振片的选择,通过采用升降电机配合升降机构,使其实现机械手组件的上下轴向移动,通过采用机械手开合电机连接机械手组件,实现机械手组件的开合,从而实现该切换装置实现晶振片在真空状态下的自动切换,晶振片更换流程更简洁,更换时间更简短,使镀膜机炉体内的工作环境不受影响,保证工作质量与提高工作效率,而旋转盘于工作机台上通过步进电机旋转,使得达到定位精度高、无抖动,晶振片重复位置几乎无偏差的效果,本实用新型结构简单,使用方便,不需要暂停机台工作并调整环境状态,使镀膜机的镀膜工作时间大大减少,保证了工作质量,提高了工作效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍:
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