[实用新型]一种复合保温坩埚有效

专利信息
申请号: 201921044569.2 申请日: 2019-07-05
公开(公告)号: CN210287490U 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 陈学兵;王光辉 申请(专利权)人: 苏州普京真空技术有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;F27B14/10
代理公司: 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 代理人: 孙茂义
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 复合 保温 坩埚
【权利要求书】:

1.一种复合保温坩埚,其特征在于,包括:坩埚底座、坩埚容器和保温液,所述坩埚底座与所述坩埚容器对应设置,所述坩埚底座包括加热板以及设置在加热板边沿的储液槽,所述保温液设置在储液槽的内部,所述储液槽内侧表面上设置有滑轨,所述坩埚容器外侧固定连接有滑块,所述滑块与滑轨配合设置,所述加热板上表面还设置有缓冲装置,在所述坩埚容器的内侧壁上喷涂有防护涂层。

2.根据权利要求1所述的复合保温坩埚,其特征在于,所述防护涂层的材质为氮化硼。

3.根据权利要求1所述的复合保温坩埚,其特征在于,所述防护涂层的厚度为120-150μm。

4.根据权利要求1所述的复合保温坩埚,其特征在于,所述缓冲装置包括缓冲垫和弹簧,所述弹簧的一端与缓冲垫固定连接,所述弹簧的另一端与加热板的上表面固定连接。

5.根据权利要求4所述的复合保温坩埚,其特征在于,所述缓冲垫的材质为橡胶。

6.根据权利要求1所述的复合保温坩埚,其特征在于,所述坩埚容器的材质为石墨。

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