[实用新型]一种六工位恒温箱

说明书

本实用新型公开了一种六工位恒温箱，涉及半导体生产技术领域，包括密封柜，所述密封柜的内壁固定连接有保温层，所述密封柜的内部且位于保温层的内侧表面固定连接有制冷层，所述密封柜的正面固定安装有密封板，所述密封板正面的顶部位置固定安装有人机交互面板，所述密封柜的正面且位于密封板的一侧位置出固定安装有密封门，把单独的恒温装置集中到一起，采用严密的密封结构，把所有的可能泄露点放在密封空间，然后使用氮气定向排放，特殊处理，从使用成本来说，该设备是六工位形式，即一台该设备可替代原先的4台独立温控设备，无论是从采购成本，还是后续的维护成本，相比现有的恒温箱，都有大幅度的下降。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体为一种提供液态源的六工位恒温环境装置。

背景技术

近几年来，太阳能电池片的发展非常迅速，对于产能的要求越来越高。但是，对于绝大多数的生产厂商来说，设备的增加意味着厂房面积的增加，这对他们来说实现起来非常困难。鉴于这种情况，应运而生的是设备工艺管数的增加，由原先三管增加到现在的六管设备，甚至是大产能的12管设备。而不管那种方式，都需要配备工艺源液。不管在光伏行业还是半导体行业，磷源或者硼源的泄露，都会对环境以及操作人员产生有害的影响，而现有的方式是每个工艺管对应一台小型的恒温装置，所以随着工艺管数的增多，泄露点也增多，危险性也随之增加，这对任何使用厂家来说，都给设备的维护带来极大的生产成本，为此，我们提出了一种六工位恒温箱。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种六工位恒温箱，解决了现有电池制备以及半导体扩散工艺中所使用工艺管均对应一台小型的恒温装置，所以随着工艺管数的增多，泄露点也增多，危险性也随之增加，这对任何使用厂家来说，都给设备的维护带来极大的生产成本，的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种六工位恒温箱，包括密封柜，所述密封柜的内壁固定连接有保温层，所述密封柜的内部且位于保温层的内侧表面固定连接有制冷层，所述密封柜的正面固定安装有密封板，所述密封板正面的顶部位置固定安装有人机交互面板，所述密封柜的正面且位于密封板的一侧位置出固定安装有密封门，所述密封柜的内部固定安装有工位载板，所述工位载板的上方固定连接有液态源瓶，所述密封柜的顶端内嵌式固定连接有一根氮气进管，且密封柜的顶端位于氮气进管的一侧嵌入式固定连接有一根氮气出管。

优选的，所述密封柜的顶端固定安装有信号塔，所述信号塔的外部固定套接有透明塑料材质的防护罩。

优选的，所述密封门的内部嵌入式固定连接有观察窗，所述观察窗为一种双层有机玻璃材质的构件，所述密封门和观察窗之间通过玻璃胶固定粘合连接。

优选的，所述密封柜的底端固定安装有调平地脚，所述调平地脚的数量共设置有四个，四个调平地脚在密封柜上呈矩形结构的四点分布。

优选的，所述氮气进管的出气端和氮气出管的进气端均延伸至密封柜的内部，所述氮气进管的进气端和氮气出管的出气端上分别对应安装有第一控制阀和第二控制阀。

优选的，所述工位载板的数量共设置有两块，每块工位载板上设置有三个工位，每个工位对应一个液态源瓶。

优选的，所述密封柜正面的敞口边缘与密封门的内侧壁边缘之间设置有密封垫圈，密封垫圈固定粘合在密封门上，且密封垫圈为一种橡胶材质的构件。

有益效果

本实用新型提供了一种六工位恒温箱。与现有技术相比具备以下有益效果：