[实用新型]一种高产能1600片五管低压扩散设备

权利要求书

1.一种高产能1600片五管低压扩散设备，包括主机（1），所述主机（1）的正面通过合页铰接有主机门（2），其特征在于：所述主机（1）的左侧设置有气源柜（3），并且主机（1）的右侧设置有密封炉（4），所述密封炉（4）的右侧设置有低压密封门（5），并且密封炉（4）的内部设置有工艺管（6），所述低压密封门（5）的中部且位于工艺管（6）的右端设置有入料口（7），所述入料口（7）的右侧设置有机械手（8），并且密封炉（4）的右侧设置有支架（9），并且支架（9）的内部设置有自动控制系统（10），所述支架（9）的内侧设置有自动送取料系统（11），并且支架（9）的底部设置有底板（12），所述底板（12）的顶部设置有滑轨（13），并且滑轨（13）的顶部与支架（9）的底部滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种高产能1600片五管低压扩散设备，其特征在于：所述支架（9）的正面设置有控制台（14），并且控制台（14）的顶部设置有显示屏（15）。

3.根据权利要求2所述的一种高产能1600片五管低压扩散设备，其特征在于：所述控制台（14）的中部设置有控制板（16），并且控制台（14）的中部开设有与控制板（16）相适配的收纳槽（17），所述控制板（16）的正面设置有把手（18）。

4.根据权利要求1所述的一种高产能1600片五管低压扩散设备，其特征在于：所述自动送取料系统（11）的中部设置有石英舟（19），并且自动送取料系统（11）通过驱动系统驱动石英舟（19）左右运动。

5.根据权利要求1所述的一种高产能1600片五管低压扩散设备，其特征在于：所述气源柜（3）的正面通过合页铰接有柜门（20）。

6.根据权利要求1所述的一种高产能1600片五管低压扩散设备，其特征在于：所述主机（1）、气源柜（3）和密封炉（4）成对设置，并且工艺管（6）设置为5层，单管产能为1600片/管。