[实用新型]一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备有效
申请号: | 201921053034.1 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN210560883U | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 吉野辰萌;程鹏 | 申请(专利权)人: | 天津市卓辉电子有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/36 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 产生 籽晶 粘合 设备 | ||
本实用新型公开了一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,包括固定支架、贴紧装置、限位装置和吸盘构成,所述固定支架一端固定有贴紧装置,所述固定支架远离贴紧装置一端设有吸盘,所述吸盘内部设有卡槽,所述卡槽内部设有限位装置,所述固定支架与吸盘之间通过限位装置固定连接,此碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,使用吸盘吸住碳化硅籽晶,保护碳化硅籽晶,确保碳化硅粘接时不会产生划痕和缺陷,进一步保证后期碳化硅制备的质量,通过贴紧装置可以在碳化硅籽晶粘接后,挤压碳化硅籽晶,提升碳化硅籽晶的粘接平整度和粘接强度,保证提升碳化硅制备的质量和速度。
技术领域
本实用新型涉及碳化硅制造技术领域,具体为一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备。
背景技术
金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成,碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石,碳化硅又称碳硅石,在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种,可以称为金钢砂或耐火砂。
现有的碳化硅在制备过程中,需要将碳化硅籽晶粘到粘接板上,然后使用坩埚制备,但是碳化硅籽晶厚度通常为300μm-500μm,并且通过粘合剂粘在籽晶托上,由于籽晶厚度较薄,不但加工过程中容易变形,而且在粘接时也容易变形甚至断裂,而且员工粘接时,手部也会直接造成划痕,粘接也不能确保均匀牢固,严重影响后期碳化硅制备的质量和效率,为此,我们提出一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备,包括固定支架、贴紧装置、限位装置和吸盘构成,所述固定支架一端固定有贴紧装置,所述固定支架远离贴紧装置一端设有吸盘,所述吸盘内部设有卡槽,所述卡槽内部设有限位装置,所述固定支架与吸盘之间通过限位装置固定连接。
优选的,所述固定支架外表面刻有防滑纹。
优选的,所述限位装置由金属销、滑板、拉环和限位弹簧构成,所述卡槽内部设有金属销,所述金属销贯穿固定支架,且与固定支架滑动连接,所述金属销外表面固定有滑板,所述滑板顶部设有限位弹簧,所述限位弹簧两端分别与滑板和固定支架固定连接,所述金属销顶部固定有拉环。
优选的,所述贴紧装置由连接板、缓冲装置、固定板和橡胶垫构成,所述固定支架一端固定有连接板,所述连接板一侧设有缓冲装置,所述缓冲装置一侧设有固定板,所述缓冲装置两端分别与连接板和固定板固定连接,所述固定板一侧固定有橡胶垫。
优选的,所述缓冲装置由导柱、导套和缓冲弹簧构成,所述连接板一侧固定有导柱,所述导柱一侧外表面套有导套,且与导套滑动连接,所述导套一端与固定板固定连接,所述导柱与导套外表面套有缓冲弹簧,所述缓冲弹簧两端分别与连接板和固定板固定连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型使用吸盘吸住碳化硅籽晶,保护碳化硅籽晶,确保碳化硅粘接时不会产生划痕和缺陷,进一步保证后期碳化硅制备的质量,通过贴紧装置可以在碳化硅籽晶粘接后,挤压碳化硅籽晶,提升碳化硅籽晶的粘接平整度和粘接强度,保证提升碳化硅制备的质量和速度。
2、本实用新型固定支架外表面刻有防滑纹,便于员工操作使用,缓冲装置提供缓冲力,防止员工挤压时对碳化硅籽晶造成损坏。
附图说明
图1为本实用新型局部剖视图;
图2为图1中A区域放大图;
图3为图1中B区域放大图。
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