[实用新型]一种碳化硅籽晶筛选组件

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅籽晶筛选组件，包括筛选壳、筛选板和出料板，所述筛选壳内部的顶端设有入料口，所述筛选壳内壁设有滑动槽，且筛选板外侧滑动连接在滑动槽处，所述筛选板底端固定有多个缓冲固定件，此碳化硅籽晶筛选组件，通过将筛选板滑动连接在筛选壳内部，且振动电机直接作用于筛选板，且筛选板在多个缓冲支撑件的支撑作用下，充分在筛选壳内部进行振动，同时，由于在第一出料口设置的限位阻挡件，从而当振动电机工作一段时间后，合格的碳化硅籽晶在筛选板上全部滑落至出料板上，此时，限位阻挡件运行，使阻挡板脱离第一出料口处，使不合格碳化硅籽晶快速排出，从而提高了碳化硅籽晶的筛选质量。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅技术领域，具体为一种碳化硅籽晶筛选组件。

背景技术

SiC半导体材料是继第一代元素半导体材料(Si)和第二代化合物半导体材料(GaAs、GaP、InP等)之后发展起来的第三代宽带隙(Wide Band-gapSemiconductor,WBS)半导体材料的代表，与前两代半导体材料相比，SiC具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和漂移速度以及极好的化学稳定性等特点，在光电子和微电子领域，具有巨大的应用潜力。

根据申请号201720771077.8，本实用新型公开了一种碳化硅籽晶筛选装置，包括底座，所述底座的上端中部设有筛选罐，所述筛选罐的左侧中部设有第一出料口，所述筛选罐的右侧下部设有第二出料口，所述筛选罐的底部安装有振荡器，所述筛选罐的内腔上部设有过滤板，所述筛选罐的内部下侧设有导料板，所述筛选罐的前后部通过第一销轴连接有支撑杆，所述支撑杆的上部通过第二销轴连接于支撑架的上部，本实用新型通过过滤板和导料板的倾斜设置，使得在筛选罐在振荡器作用下，需筛选的碳化硅籽晶可顺利由过滤板过滤，经由第一出料口排出，然后过滤后的碳化硅籽晶可顺利通过导料板落至第二出料口，在碳化硅籽晶经由入口管进入筛选罐后，落至过滤板上。但是由于上述专利中，筛选罐为整体振荡的方式，且第一出料口没有设置阻挡装置，碳化硅籽晶经过倾斜型过滤板过滤时，合格的碳化硅籽晶容易随不合格碳化硅沿着第一出料口一同排出，从而降低了碳化硅籽晶的筛选的质量，为此，我们提出一种碳化硅籽晶筛选组件。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅籽晶筛选组件，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅籽晶筛选组件，包括筛选壳、筛选板和出料板，所述筛选壳内部的顶端设有入料口，所述筛选壳内壁设有滑动槽，且筛选板外侧滑动连接在滑动槽处，所述筛选板底端固定有多个缓冲固定件，且筛选板通过多个缓冲固定件与筛选壳内壁固定连接，所述筛选板底端固定连接有振动电机，所述筛选壳的一侧设有第一出料口，所述筛选壳内壁靠近第一出料口的一侧设有限位阻挡件，所述限位阻挡件输出端位于筛选板上，所述出料板位于筛选板底端，且出料板固定连接在筛选壳内部，所述筛选壳上设有第二出料口，且第二出料口位于出料板输出端上。

优选的，所述缓冲固定件包括缓冲弹簧、锲形块、T型块和支撑板，所述缓冲弹簧的顶端通过锲形块与筛选板底端固定连接，且缓冲弹簧底端通过T型块与支撑板固定连接，所述支撑板与筛选壳固定连接。

优选的，所述限位阻挡件包括电动推杆、限位板、阻挡板、支撑件和限位壳，所述电动推杆通过固定板与筛选壳内壁固定连接，所述电动推杆输出端与限位板固定连接，所述阻挡板内部的顶端设有限位槽，且限位板远底端滑动连接在限位槽内部，所述限位板外侧对称设有两个支撑件，且两个支撑件输出端滑动连接在阻挡板内部，所述阻挡板外侧对称设有两个限位壳，且阻挡板与两个限位壳滑动连接，所述限位壳固定连接在筛选壳内壁。