[实用新型]一种碳化硅生产用的气相成分检测装置有效

专利信息
申请号: 201921053204.6 申请日: 2019-07-08
公开(公告)号: CN210534084U 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 程鹏;于征磊 申请(专利权)人: 天津市卓辉电子有限公司
主分类号: G01N30/60 分类号: G01N30/60
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300000 天津市*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 碳化硅 生产 相成 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种碳化硅生产用的气相成分检测装置,包括箱体(1)、气相色谱柱(2)、伸出杆(3)、固定组件(4)和安装组件(5),其特征在于:所述箱体(1)顶部对称分别开有进样口(6)和出样口(7),所述伸出杆(3)设有四个,且伸出杆(3)呈环形分布固定在箱体(1)内壁,所述固定组件(4)设有两个,所述气相色谱柱(2)两端均通过固定组件(4)固定在上下两个伸出杆(3)上,且气相色谱柱(2)的两端通过安装组件(5)分别与进样口(6)和出样口(7)密封连接。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用的气相成分检测装置,其特征在于:所述安装组件(5)包括固定套筒(8)、活动套筒(9)、安装弹簧(10)、安装把手(11)、滑动杆(12)、固定板(13)、密封垫片(14)和密封挡圈(15),所述固定套筒(8)顶端固定在进样口(6)的底部或出样口(7)的底部,且固定套筒(8)上对称开有两个活动槽(16)和两个挡圈槽(17),所述活动套筒(9)外侧开有两个限位槽(18),所述滑动杆(12)的一端与安装把手(11)固定连接,且滑动杆(12)的另一端滑动贯穿活动槽(16),并与活动套筒(9)的限位槽(18)卡接,所述固定板(13)固定套在滑动杆(12)的一端外侧,且固定板(13)外侧与活动槽(16)内壁滑动连接,所述安装弹簧(10)套在滑动杆(12)的外侧,且安装弹簧(10)的两端分别与固定套筒(8)的内壁和固定板(13)的一侧固定,所述密封挡圈(15)设有两个,且密封挡圈(15)套在活动套筒(9)外侧,所述密封挡圈(15)与挡圈槽(17)卡接,所述密封垫片(14)与气相色谱柱(2)的一端固定,且密封垫片(14)与活动套筒(9)的内侧接触连接。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用的气相成分检测装置,其特征在于:所述固定组件(4)包括限位板(19)、固定弹簧(20)、固定挡板(21)、固定把手(22)、抽杆(23)和限位卡销(24),所述限位板(19)固定安装在伸出杆(3)上,所述伸出杆(3)上开有销槽(26)和移动槽(27),所述限位卡销(24)上开有两个卡槽(25),且限位卡销(24)在销槽(26)内上下移动,所述抽杆(23)的一端与固定把手(22)固定连接,且抽杆(23)的另一端与卡槽(25)卡接,所述固定弹簧(20)套在抽杆(23)的外侧,且固定弹簧(20)的两端分别固定在伸出杆(3)的一端与固定挡板(21)的底部,所述固定挡板(21)与移动槽(27)的内壁滑动连接。

4.根据权利要求2所述的一种碳化硅生产用的气相成分检测装置,其特征在于:所述密封垫片(14)与活动套筒(9)直径相等。

5.根据权利要求2所述的一种碳化硅生产用的气相成分检测装置,其特征在于:所述安装把手(11)远离限位槽(18)的一端外侧设置有防滑纹。

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