[实用新型]一种光波导模斑转换器

权利要求书

1.一种光波导模斑转换器，其特征在于,包括波导模斑转换器(1)、低折射率匹配液(2)、石英盖板(3)、光纤阵列(4)；所述低折射率匹配液(2)固定设置在波导模斑转换器(1)与石英盖板(3)之间；所述波导模斑转换器(1)内固定设有SU-8光刻胶波导(5)和硅波导(6)，所述硅波导(6)位于SOI芯片上，所述SOI芯片设置在波导模斑转换器(1)上，所述SU-8光刻胶波导(5)固定设置在SOI芯片上并包裹所述硅波导(6)，所述光纤阵列(4)与波导模斑转换器(1)固定连接；所述光纤阵列(4)通过UV固化胶(7)粘连于波导模斑转换器(1)与低折射率匹配液(2)及石英盖板(3)所封装成的器件端面即构成波导输入/输出端。

2.根据权利要求1所述的一种光波导模斑转换器，其特征在于，所述波导模斑转换器(1)由SOI芯片以及SU-8光刻胶波导(5)组成。

3.根据权利要求1所述的一种光波导模斑转换器，其特征在于，所述低折射率匹配液(2)匀在所述波导模斑转换器(1)上厚度约为5μm。

4.根据权利要求1所述的一种光波导模斑转换器，其特征在于，所述石英盖板(3)厚度约为1mm，所述石英盖板(3)与波导模斑转换器(1)固定连接。