[实用新型]一种软X射线准直和通量调节的真空动密封机构

权利要求书

1.一种软X射线准直和通量调节的真空动密封机构，其特征在于：它包括真空系统、铍窗调节器和针孔调节器，铍窗调节器的两侧分别与真空系统和针孔调节器连接，通过真空系统、铍窗调节器和针孔调节器，实现了软X射线准直和通量调节的一体结构。

2.如权利要求1所述的一种软X射线准直和通量调节的真空动密封机构，其特征在于：所述的真空系统包括第一对接法兰(1)、第二对接法兰(21)、第一真空过渡管(2)、第二真空过渡管(22)、第三真空过渡管(32)、插板阀(3)、波纹管(4)、真空抽口(9)和探测器对接密封法兰(12)，第一对接法兰(1)焊接在第二真空过渡管(22)的一端，插板阀(3)两侧分别连接有第一真空过渡管(2)、第二真空过渡管(22)，第一真空过渡管(2)通过第二对接法兰(21)连接波纹管(4)，真空抽口(9)焊接在第三真空过渡管(32)上，探测器对接密封法兰(12)位于最右端，与真空动密封针孔调节器相连。

3.如权利要求2所述的一种软X射线准直和通量调节的真空动密封机构，其特征在于：所述的第一对接法兰(1)、第二对接法兰(21)材料为304无磁不锈钢，刀口密封；第一真空过渡管(2)、第二真空过渡管(22)、第三真空过渡管(32)材料为304无磁不锈钢，直径50mm；插板阀(3)材料为304无磁不锈钢型号，直径50mm；波纹管(4)材料为无磁不锈钢型号304，型号KF50；真空抽口(9)材料为304无磁不锈钢，直径25mm；探测器对接密封法兰(12)材料为304无磁不锈钢，氟橡胶圈密封。

4.如权利要求1所述的一种软X射线准直和通量调节的真空动密封机构，其特征在于：所述的铍窗调节器包括真空动密封铍窗调节器(5)、第一定位器(6)、第一调节连动杆(7)、铍窗调节板(8)和铍窗(13)，第一调节连动杆(7)下端与铍窗调节板(8)相连，然后插入真空动密封铍窗调节器(5)内，第一定位器(6)位于真空动密封铍窗调节器(5)上端，用于铍窗调节时的定位。

5.如权利要求4所述的一种软X射线准直和通量调节的真空动密封机构，其特征在于：所述的铍窗调节板(8)上设有铍窗(13)。

6.如权利要求4或5所述的一种软X射线准直和通量调节的真空动密封机构，其特征在于：所述的真空动密封铍窗调节器(5)材料为304无磁不锈钢，真空度10-5Pa；第一定位器(6)材料为304无磁不锈钢；第一调节连动杆(7)材料为304无磁不锈钢；铍窗调节板(8)材料为304无磁不锈钢，长10cm，宽8cm，厚度2cm；铍窗(13)纯度≥99.99％，直径8mm，三种厚度分别为20μm，50μm和100μm。

7.如权利要求1所述的一种软X射线准直和通量调节的真空动密封机构，其特征在于：所述的针孔调节器包括第二定位器(26)、第二调节连动杆(27)、真空动密封针孔调节器(10)、针孔调节板(11)和针孔(14)，真空动密封针孔调节器(10)靠近真空动密封铍窗调节器(5)的一侧连接有第三真空过渡管(32)，另一侧连接有探测器对接密封法兰(12)，第二调节连动杆(27)下端与针孔调节板(11)相连，然后插入真空动密封针孔调节器(10)内，第二定位器(26)位于真空动密封针孔调节器(10)上端，用于针孔调节时的定位。

8.如权利要求7所述的一种软X射线准直和通量调节的真空动密封机构，其特征在于：所述的针孔调节板(11)上开有针孔(14)。

9.如权利要求7所述的一种软X射线准直和通量调节的真空动密封机构，其特征在于：所述的第二定位器(26)材料为304无磁不锈钢；第二调节连动杆(27)材料为304无磁不锈钢；真空动密封针孔调节器(10)材料为304无磁不锈钢，真空度10-5Pa；针孔调节板(11)材料为304无磁不锈钢，长10cm，宽8cm，厚度2cm；针孔(14)三种直径分别为0.2mm，0.5mm，1.0mm。