[实用新型]一种多层叠放式靶材金属箱

说明书

本实用新型公开了一种多层叠放式靶材金属箱，包括箱体，所述箱体包括依次通过锁扣连接的上盖板、至少一个连接板和下底座，所述下底座上叠放有至少两个尺寸相等的靶材基座,所述靶材基座两侧上表面设置有滑轨，所述靶材基座底部设置有凹槽，所述凹槽内设置有弹簧，所述弹簧的一端设置有滑块，所述凹槽与滑轨的位置相对，每两个上下叠放的所述靶材基座之间能通过滑轨与滑块的配合滑动连接，装置结构简单，能实现靶材箱放置靶材的数量增多及便捷取放靶材，提高了工作效率且降低成本。

技术领域

本实用新型涉及靶材箱领域，尤其涉及一种多层叠放式靶材金属箱。

背景技术

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于真空溅射设备中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的效应，制作出各种不同作用用途的薄膜材料。

现在对于靶材的需求日益增高，在运输过程中靶材需要放置在金属箱内，由于每个靶材需要单独放置，导致现有的金属箱能够存放靶材的数量有限，只能通过增加金属箱的数量来运输大量靶材，使成本增高，且在运输到位后，现有的具有多层靶材基座的金属箱需要将基座拿起并放置在其他位置后才能将靶材取出，工作效率低。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种结构简单，能实现靶材箱放置靶材的数量增多及便捷取放靶材，提高了工作效率且降低成本的一种多层叠放式靶材金属箱。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种多层叠放式靶材金属箱，包括箱体，所述箱体包括依次通过锁扣连接的上盖板、至少一个连接板和下底座，所述下底座上叠放有至少两个尺寸相等的靶材基座,所述靶材基座两侧上表面设置有滑轨，所述靶材基座底部设置有凹槽，所述凹槽内设置有弹簧，所述弹簧的一端设置有滑块，所述凹槽与滑轨的位置相对，每两个上下叠放的所述靶材基座之间能通过滑轨与滑块的配合滑动连接。

本实用新型提供的一种多层叠放式靶材金属箱，其有益效果是：在靶材基座顶部设置滑轨后在底部凹槽内通过弹簧连接滑块，当把靶材基座拿起时，滑块能在重力的作用下伸出凹槽外，并与下方靶材基座的滑轨进行滑动连接，使叠放的多个靶材座基能够通过滑轨与滑块的配合两两之间进行滑动，提高取放靶材时的便利性，将多个已叠放的靶材基座放置在箱体的下底座上，位于最底端靶材基座的滑块通过与下底座相抵回缩至凹槽内，由于上盖板、连接板和下底座通过锁扣连接，增加靶材基座数量的同时可以增加连接板的数量，降低运输成本。

进一步地，所述靶材基座内设置有多个放置槽，所述放置槽底部滑动设置有推块，所述下底座底部滑动设置有多个滑动块，多个所述滑动块与推块数量相等且位置上下一一对应，当靶材放入放置槽，推动所述滑动块能使其顶部与推块接触并推动推块向上移动将靶材顶起，提高将靶材取出时的便捷性。

进一步地，所述下底座底设置有多个挡块，多个所述挡块分别位于滑动块底部且能与滑动块接触，所述挡块能与下底座的下表面平齐，避免滑动块掉出下底座。

进一步地，所述放置槽形状与靶材形状相匹配，为弧形凹槽或四方体凹槽，可根据靶材的形状进行靶材基座的选择，且与靶材形状贴合，避免运输过程中因碰撞引起的损伤。

进一步地，所述靶材基座外侧设置有多个伸缩凸块和多个连接块，所述连接块上设置有连接槽且连接槽的尺寸大于伸缩凸块，多个所述伸缩凸块和多个连接块的数量相等且位置上下一一对应，每两个上下叠放的所述靶材基座之间能通过伸缩凸块与连接块的配合进行插接，增加连接的稳定性。

进一步地，所述下底座的上固定安装有若干个挡板，若干个所述挡板内侧均能与放置最低位的靶材基座外侧接触，所述挡板与伸缩凸块、连接块交叉设置，起到防撞的作用，有效的保护箱体内部的靶材。

进一步地，所述伸缩凸块的厚度小于连接块的厚度，避免在箱体内因空隙太多引起碰撞。