[实用新型]用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪

权利要求书

1.一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：包括安装基台(110)，安装基台(110)的上表面的边缘处设有若干个沉孔(111)，安装基台(110)的正下方设有白光干涉系统安装座(120)，白光干涉系统安装座(120)内设有位于沉孔(111)正下方的螺孔(310)，沉孔(111)内设有与螺孔(310)相配合的螺栓(320)，白光干涉系统安装座(120)内设有用于转动螺栓(320)的螺栓驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：螺孔(310)内靠近螺孔(310)底端部的侧壁沿其周向向外扩张形成第一锥齿轮安装腔(330)，螺栓驱动机构包括可转动设置在第一锥齿轮安装腔(330)的第一锥齿轮(340)，第一锥齿轮(340)的中心处设有与螺栓(320)间隙配合的通孔510，螺栓(320)的端部穿过第一通孔(510)；螺栓(320)上设有若干个沿螺栓(320)长度方向设置且开口位于螺栓(320)底端的条形槽(410)，第一锥齿轮(340)上位于第一通孔(510)的侧壁处设有端部伸入条形槽(410)且与条形槽(410)间隙配合的限位块(520)，白光干涉系统安装座(120)内设有用于驱动第一锥齿轮(340)的第一锥齿轮驱动机构。

3.根据权利要求2所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：白光干涉系统安装座(120)内设有与第一锥齿轮安装腔(330)相通的第二锥齿轮安装腔(350)，第一锥齿轮驱动机构包括中可转动的设置在第二锥齿轮安装腔(350)中且与第一锥齿轮(340)相配合的第二锥齿轮(360)，第二锥齿轮(360)的直径小于第一锥齿轮(340)的直径；白光干涉系统安装座(120)内设有开口位于白光干涉系统安装座(120)侧壁上的转轴安装腔(210)，转轴安装腔(210)穿过第二锥齿轮安装腔(350)，转轴安装腔(210)中可转动的设有穿过第二锥齿轮(360)的转轴(220)

4.根据权利要求3所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：螺孔(310)内位与第一锥齿轮安装腔(330)的上方的内壁沿其周向向外扩张形成弹簧安装腔(370)，弹簧安装腔(370)中设有与螺栓(320)间隙配合的弹簧(380)，弹簧(380)的一端抵靠在弹簧安装腔(370)的底壁上，弹簧(380)的另一端抵靠在安装基台(110)的底面。

5.根据权利要求4所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：沉孔(111)下端部的内壁沿其周向向外扩张形成与弹簧安装腔(370)相配合的弹簧放置腔(390)，弹簧(380)的一端抵靠在弹簧安装腔(370)的底壁上，弹簧(380)的另一端抵靠在弹簧放置腔(390)的上端部的内壁上。

6.根据权利要求5所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：白光干涉系统安装座(120)边缘处设有水平仪安装座(130)，水平仪安装座(130)内设有水平仪(131)。

7.根据权利要求6所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：转轴(220)上伸出白光干涉系统安装座(120)的端部设有拧动座(140)，拧动座(140)上设有纹路。