[实用新型]一种键合剪切力测试机

权利要求书

1.一种键合剪切力测试机，包括能升降移动的推刀(1)，所述推刀(1)上端连接有测试装置本体(2)，其特征在于，所述推刀(1)的下方设置有相互垂直的导轨总成(3)，所述导轨总成(3)上端设置有夹具平台(4)，所述夹具平台(4)上端并排设置有夹持组件(5)和固定刀(6)，所述固定刀(6)的一端横向连接有旋转盘(7)，所述旋转盘(7)侧壁设置有移动组件(9)，所述移动组件(9)连接有固定座(15)，所述固定刀(6)安装在固定座(15)侧壁，所述旋转盘(7)背离移动组件(9)的一侧连接有支撑组件。

2.根据权利要求1所述的键合剪切力测试机，其特征在于，所述导轨总成(3)的下端还设置有工作台(10)，所述工作台(10)上端还设置有竖直导轨(11)，所述竖直导轨(11)上端设置有伺服电机(12)，所述竖直导轨(11)上设置有滑座，所述测试装置本体(2)与滑座相互连接，所述推刀(1)连接有刀架(110)，所述刀架(110)上端连接有传感器(130)，所述测试装置本体(2)还设置有观察显微镜(120)。

3.根据权利要求1所述的键合剪切力测试机，其特征在于，所述夹持组件(5)包括两个对称的夹持单元(510)，所述夹持单元(510)包括导向块(511)、导向螺纹杆(512)、支撑罩(513)、压紧板(514)和压缩弹簧(515)；

所述导向块(511)设置在夹具平台(4)上，所述导向块(511)开设有与导向螺纹杆(512)相互匹配的第一内螺纹，所述导向螺纹杆(512)位于支撑罩(513)的外侧，所述夹具平台(4)上设置有滑槽(520)，所述支撑罩(513)的下端设置有滑槽(520)相互匹配的滑块(530)，所述压紧板(514)的一端与支撑罩(513)的内侧壁铰接，所述压紧板(514)铰接端位于夹具平台(4)的上方2-7mm，所述压紧板(514)上端与支撑罩(513)的上端内壁之间通过压缩弹簧(515)相互连接。

4.根据权利要求1所述的键合剪切力测试机，其特征在于，所述移动组件(9)包括两个固定板(910)、丝杠(930)、移动座(920)、两个侧支护板(940)、转动把手(950)；

两个固定板(910)分别位于旋转盘(7)的两端，所述丝杠(930)的两端分别与两个固定板(910)相互连接，丝杠(930)的一端贯穿固定板(910)后与转动把手(950)相互连接，所述移动座(920)位于两个固定板(910)之间，所述移动座(920)的下端开设有便于丝杠(930)穿过的通孔，通孔开设有与丝杠(930)相互配合的第二内螺纹，两个侧支护板(940)分别位于丝杠(930)的上下两侧，两个侧支护板(940)的外侧壁均开设有放置槽，所述移动座(920)的上下两端设置有位于放置槽内的放置块，所述固定座(15)位于移动座(920)的侧壁。

5.根据权利要求4所述的键合剪切力测试机，其特征在于，所述侧支护板(940)设置有刻度尺(14)，所述移动座(920)一端的下端设置有与刻度尺(14)对准的指针(13)。

6.根据权利要求1所述的键合剪切力测试机，其特征在于，支撑组件包括支撑板(8)和转轴(16)；

所述支撑板(8)靠近旋转板的一侧设置有凸起，所述支撑板(8)的另一侧开设有限位槽(810)，旋转盘(7)对应凸起设置有凹槽(710)，所述转轴(16)依次穿过限位槽(810)、支撑板(8)、凸起、凹槽(710)和旋转板，所述转轴(16)套设有与限位槽(810)相互匹配的限位块(17)。

7.根据权利要求6所述的键合剪切力测试机，其特征在于，所述限位块(17)的截面外形为正多边形。